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1. (WO2005012923) ACCELERATION SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/012923    International Application No.:    PCT/JP2004/009315
Publication Date: 10.02.2005 International Filing Date: 01.07.2004
IPC:
G01P 15/09 (2006.01), G01P 15/097 (2006.01)
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP/JP]; 10-1, Higashikotari 1-chome Nagaokakyo-shi, Kyoto 617-8555 (JP) (For All Designated States Except US).
MIKADO, Atsushi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TABOTA, Jun [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MIKADO, Atsushi; (JP).
TABOTA, Jun; (JP)
Agent: TSUTSUI, Hidetaka; Tamura Building, 2-5, Omiya-cho 7-chome, Nara-shi, Nara 6308115 (JP)
Priority Data:
2003-285516 04.08.2003 JP
Title (EN) ACCELERATION SENSOR
(FR) DETECTEUR D'ACCELERATION
(JA) 加速度センサ
Abstract: front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide an acceleration sensor reduced in size, capable of eliminating effects thereon by the causes other than acceleration such as temperature variation, and providing high detection sensitivity. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] This acceleration sensor (1A) comprises a bimorph acceleration detection element (2A) in which first and second resonators (3) and (4) are joined to both faces of a base plate (5) in the acceleration application direction. The longitudinal one end part of the acceleration detection element (2A) is fixedly supported so that the first and second resonators (3) and (4) can be deflected in a same direction according to the application of the acceleration. The frequency variation or impedance variation of the first and second resonators (3) and (4) caused by the deflection of the acceleration detection element (2A) is detected differentially so that the acceleration can be detected. The bending neutral surface of the acceleration detection element (2A) in the action of the acceleration is positioned at the center part of the base plate (5) in the acceleration application direction, and the vibration parts of the first and second resonators (3) and (4) are disposed near the fixedly supported part of the acceleration detection element (2A).
(FR)L'invention concerne un détecteur d'accélération de dimension limitée, capable d'éliminer des effets provoqués par des causes différentes de l'accélération, telles que des variations de température, et possédant une sensibilité de détection élevée. Ce détecteur d'accélération (1A) est composé d'un élément de détection d'accélération bimorphe (2A) dans lequel un premier et un deuxième résonateur (3, 4) sont reliés aux deux faces d'une plaque de base (5) dans le sens où s'exerce l'accélération. Une partie d'extrémité longitudinale de l'élément de détection d'accélération (2A) est supportée fixe, de sorte que le premier et le deuxième résonateur (3, 4) peuvent être défléchis dans un sens identique correspondant à l'accélération exercée. La variation de fréquence ou d'impédance de ce premier et deuxième résonateur (3, 4) provoquée par la déflexion de l'élément de détection d'accélération (2A) est détectée de façon différentielle afin de pouvoir détecter l'accélération. La surface neutre d'incurvation de l'élément de détection d'accélération (2A) pendant l'accélération elle-même, est placée au niveau du centre de la plaque de base (5) dans le sens où l'accélération s'exerce et les parties vibratoires du premier et du deuxième résonateur (3, 4) sont placées à proximité de la partie supportée fixe de l'élément de détection d'accélération (2A).
(JA)【課題】小型でしかも温度変化などの加速度以外の要因による影響を排除でき、かつ検出感度の高い加速度センサを提供する。 【解決手段】加速度センサ1Aは、第1,第2の共振子3,4をベース板5の加速度印加方向の両面に接合したバイモルフ型加速度検出素子2Aを備え、加速度の印加に伴って第1,第2の共振子3,4が同一方向に撓むように加速度検出素子2Aの長手方向の一端部を固定支持してある。加速度検出素子2Aの撓みによって生じる第1,第2の共振子3,4の周波数変化またはインピーダンス変化を差動的に検出して加速度を検出可能とする。加速度検出素子2Aの加速度の作用に伴う曲げ中正面は、ベース板5の加速度印加方向に対して中央部に位置しており、第1,第2の共振子3,4の振動部は、加速度検出素子2Aの固定支持部に近づけて配置されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)