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1. (WO2005010511) FIBER ARRAY INTERFEROMETER FOR INSPECTING GLASS SHEETS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/010511    International Application No.:    PCT/US2004/023800
Publication Date: 03.02.2005 International Filing Date: 23.07.2004
IPC:
G01N 21/95 (2006.01), G01N 21/958 (2006.01), G02F 1/1362 (2006.01)
Applicants: LEBLANC, Philip [CA/US]; (US) (For US Only).
CORNING INCORPORATED [US/US]; Life Sciences, 45 Nagog Park, Acton, MA 01720 (US) (For All Designated States Except US)
Inventors: LEBLANC, Philip; (US)
Agent: PAPPAS, Joanne, N.; Life Sciences, 45 Nagog Park, Acton, MA 01720 (US)
Priority Data:
10/626,309 24.07.2003 US
Title (EN) FIBER ARRAY INTERFEROMETER FOR INSPECTING GLASS SHEETS
(FR) INTERFEROMETRE A RESEAU DE FIBRES PERMETTANT D'INSPECTER DES FEUILLES DE VERRE
Abstract: front page image
(EN)A major surface (11) of a large substrate (31), e.g., a sheet of transparent LCD glass, is inspected for defects with high resolution and height sensitivity using an array (13) of optical fibers (15). For each fiber (15), a reference beam of coherent light, which has reflected from the fiber's cleaved end (19), interferes with a measurement beam of coherent light, which has exited the cleaved end (19), reflected from the surface (11), and reentered the fiber (15). The intensity of the interference signal serves as a measure of the distance between the cleaved end (19) and the region (27) of the surface (11) with which the fiber (15) is associated. Insight into the polarization properties of the defect, as an aid to accurate classification, can be obtained by independently monitoring the polarization states of two orthogonal measurement beams.
(FR)On inspecte une surface principale (11) de grand substrat (31), par exemple, une feuille de verre transparent LCD à cause de ses défauts avec une résolution et une sensibilité élevées au moyen d'un réseau (13) de fibres optiques (15). Pour chaque fibre (15), un faisceau de référence de lumière cohérente réfléchi à partir de l'extrémité clivée (19) de la fibre interfère avec un faisceau de mesure de lumière cohérente qui à excité l'extrémité clivée (19) réfléchie par la surface (11), et réintroduit la fibre (15). L'intensité du signal de interférence sert de mesure de distance entre l'extrémité clivée (19) et la région (27) de la surface (11) à laquelle la fibre (15) est associée. On peut obtenir un aperçu des propriétés de polarisation du défaut comme une aide de classification précise, par surveillance indépendante des états de polarisation de deux faisceaux de mesure orthogonaux.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)