(EN) A method and an apparatus for testing an array substrate that is a component of a liquid crystal display panel. The method and apparatus realize shortening of the test times and also realize reduction of the equipments. In the method and apparatus, while the array substrate is placed in a tester chamber, an electric signal is supplied to a driver circuit part including at least one of a scan line driver circuit and a signal line driver circuit (S1). The electric signal having flowed through that driver circuit part is detected, thereby testing that driver circuit part (S2). An electron beam is irradiated to a pixel electrode that has been charged, and information of secondary electrons discharged from the pixel electrode is used to perform the test as to the pixel electrode (S5).
(FR) L'invention concerne un procédé et un appareil permettant de vérifier un substrat en réseau faisant partie d'un écran d'affichage à cristaux liquides. Ce procédé et cet appareil permettent de réduire les durées de vérification ainsi que les équipements nécessaires aux vérifications. Selon l'invention, le substrat en réseau est placé dans une chambre de vérification, et un signal électrique est fourni à une partie circuit d'attaque qui comprend au moins un circuit d'attaque à ligne de balayage ainsi qu'un circuit d'attaque à ligne de signal (S1). Le signal électrique circulant dans la partie circuit d'attaque est détecté, ce qui permet de vérifier la partie circuit d'attaque (S2). Un faisceau d'électrons est dirigé sur une électrode de pixel qui a été chargée, et des informations relatives à des électrons secondaires qui sont déchargés de l'électrode de pixel sont utilisées pour vérifier l'électrode de pixel (S5).
(JA) not available