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1. (WO2004102116) MICROMECHANICAL MOTION SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/102116    International Application No.:    PCT/DE2004/000604
Publication Date: 25.11.2004 International Filing Date: 24.03.2004
IPC:
G01C 19/56 (2012.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
KRIEG, Dietmar [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GOMEZ, Udo-Martin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
NEUL, Reinhard [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: KRIEG, Dietmar; (DE).
GOMEZ, Udo-Martin; (DE).
NEUL, Reinhard; (DE)
Priority Data:
103 20 725.2 08.05.2003 DE
Title (DE) MIKROMECHANISCHER BEWEGUNGSSENSOR
(EN) MICROMECHANICAL MOTION SENSOR
(FR) CAPTEUR DE DEPLACEMENT MICROMECANIQUE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Bewegungssensor, der eine auf ein schwingungsfähig gelagertes und durch einen elektrostatischen und mit einer periodischen Antriebsspannung beaufschlagten Schwingantrieb (KA1, KI2, KA2, KI2) zu permanenter periodischer Schwingung (ϝ(t)) angeregtes Balkenfederglied (1, 2) ausgeübte Auslenkung erfassen kann. Zur Kompensation auftretender Nichtlinearitäten des Resonanzfrequenzgangs des Balkenfederglieds (1, 2) kann ein vorhandener Kammantrieb (KA1, KI1, KA2, KI2) mit einer Summe (UPKA, Ges, UPKI, Ges) aus einem normalen Antriebsspannungssignal und einem Kompensationsantriebssignal beauschlagt werden. Bei einer alternativen Ausführung können separate Kompensations-Kammantriebseinheiten zusätzlich zu den für den Schwingantrieb eingesetzten Kammantriebseinheiten (KA1, KA2, KI1, KI2) vorgesehen sein, die mit einem die Nichtlinearität kompensierenden Kompensationsspannungssignal beauftschlagt werden (Figur 3).
(EN)The invention relates to a micromechanical motion sensor that is capable of detecting the excursion of a cantilever spring element (1, 2) that is mounted so as to be able to oscillate. The spring element is subjected to an electrostatic oscillating drive (KA1, KI2, KA2, KI2) that is impinged upon by a periodic drive voltage to perform a permanent periodic oscillation (?(t)). In order to compensate for non-linearities of the natural frequency response of the cantilever spring (1, 2) an already existing comb drive (KA1, KI1, KA2, KI2) can be impinged upon by a sum (UPKA, Ges, UPKI, Ges) from a normal drive voltage signal and a compensating drive signal. In an alternative embodiment, separate compensating comb drive units can be provided in addition to the comb drive units (KA1, KA2, KI1, KI2) used for the oscillating drive and are impinged upon by a compensating voltage signal that compensates for the non-linearity.
(FR)L'invention concerne un capteur de déplacement micromécanique capable de détecter une déviation exercée sur un élément de ressort à lames (1, 2) logé de manière à osciller, excité en oscillations périodiques permanentes (?(t)) par un entraînement oscillant électrostatique (KA1, KI2, KA2, KI2) recevant une tension d'entraînement périodique. Pour la compensation de non linéarités de la fréquence de résonance de l'élément de ressort à lames (1, 2), un entraînement en peigne (KA1, KI1, KA2, KI2) peut recevoir la somme (UPKA, Ges, UPKI, Ges) d'un signal de tension d'entraînement normal et d'un signal d'entraînement de compensation. Dans un autre mode de réalisation, des unités d'entraînement en peigne de compensation séparées peuvent être employées en plus des unités d'entraînement en peigne (KA1, KA2, KI1, KI2) employées pour l'entraînement oscillant, lesdites unités d'entraînement en peigne de compensation recevant un signal de tension de compensation compensant la non linéarité.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)