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1. (WO2004100110) ACTIVE MATRIX PANEL INSPECTION DEVICE, INSPECTION METHOD, AND ACTIVE MATRIX OLED PANEL MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/100110    International Application No.:    PCT/JP2004/006235
Publication Date: 18.11.2004 International Filing Date: 28.04.2004
Chapter 2 Demand Filed:    07.01.2005    
IPC:
H01L 27/12 (2006.01)
Applicants: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION [US/US]; New Orchard Road, Armonk, New York 10504 (US) (For All Designated States Except US).
SAKAGUCHI, Yoshitami [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NAKANO, Daiju [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SAKAGUCHI, Yoshitami; (JP).
NAKANO, Daiju; (JP)
Agent: SAKAGUCHI, Hiroshi; c/o Yamato Site, IBM Japan Ltd. 1623-14, Shimotsuruma, Yamato-shi, Kanagawa 242-8502 (JP)
Priority Data:
2003-133611 12.05.2003 JP
Title (EN) ACTIVE MATRIX PANEL INSPECTION DEVICE, INSPECTION METHOD, AND ACTIVE MATRIX OLED PANEL MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE D'INSPECTION DE DISPOSITIF D'AFFICHAGE A MATRICE ACTIVE, PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIF D'AFFICHAGE OLED A MATRICE ACTIVE
(JA) アクティブマトリックスパネルの検査装置、検査方法、およびアクティブマトリックスOLEDパネルの製造方法
Abstract: front page image
(EN)Inspection of the function of a TFT array for the AMOLED panel is performed prior to the OLED formation step, thereby reducing the panel manufacturing cost. An active matrix OLED panel manufacturing method includes: an array step [1] for forming a TFT array on a substrate, thereby creating an active matrix panel; an inspection step [2] for inspecting the function of the active matrix panel created; and a cell step [3] for mounting an OLED on an active matrix panel which has been judged to be preferable in the inspection step [2]. In the inspection step [2], an opposing electrode is arranged in the vicinity of the surface where the OLED connection electrode is exposed in the active matrix panel created by the array step [1] and current flowing in the measurement object pixels constituting the active matrix panel is observed.
(FR)Selon l'invention, l'inspection de la fonction d'un réseau TFT de dispositif d'affichage AMOLED est effectuée avant l'étape de formation de l'OLED, ce qui permet de réduire le coût de fabrication du dispositif. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage OLED à matrice active consistant : à réaliser une étape réseau (1) destinée à former un réseau TFT sur un substrat, de sorte à créer un dispositif d'affichage à matrice active ; à réaliser une étape d'inspection (2) permettant d'inspecter la fonction du dispositif d'affichage créé ; et à réaliser une étape cellule (3) destinée à monter une OLED sur un dispositif d'affichage à matrice active qui a été jugé convenable au cours de l'étape (2). Pendant l'étape d'inspection (2), une électrode opposée est disposée à proximité de la surface où l'électrode de connexion OLED est exposée dans le dispositif d'affichage à matrice active créé au cours de l'étape (1), et un courant passant dans des pixels de mesure d'objet constituant le dispositif est observé.
(JA) AMOLEDパネル用TFTアレイの機能検査をOLED形成工程の前に行い、パネル製作コストを削減する。 基板上にTFTアレイを形成してアクティブマトリックスパネルを生成するアレイ工程1と、生成されたアクティブマトリックスパネルの機能検査を行う検査工程2と、検査工程2により良品と判断されたアクティブマトリックスパネルに対してOLEDを実装するセル工程3とを含み、この検査工程2は、アレイ工程1により生成されたアクティブマトリックスパネルにおけるOLED接続電極が露出する面近傍に対向電極を配置させ、このアクティブマトリックスパネルを構成する測定対象画素を流れる電流を観測する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)