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1. (WO2004097899) WAFER CARRIER PIVOT MECHANISM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/097899    International Application No.:    PCT/US2004/012879
Publication Date: 11.11.2004 International Filing Date: 27.04.2004
Chapter 2 Demand Filed:    27.08.2004    
IPC:
B24B 37/04 (2006.01)
Applicants: STRASBAUGH [US/US]; 825 Buckley Road, San Luis Obispo, CA 93401 (US)
Inventors: WALSH, Thomas, A.; (US).
KALENIAN, William, J.; (US)
Agent: CROCKETT, David, K.; Crockett & Crockett, 24012 Callle de la Plata, Suite 400, Laguna Hills, CA 92653 (US)
Priority Data:
10/425,896 28.04.2003 US
Title (EN) WAFER CARRIER PIVOT MECHANISM
(FR) MECANISME DE PIVOTEMENT POUR SUPPORT DE TRANCHE
Abstract: front page image
(EN)A pivoting wafer carrier having a minimum of internal friction and a smooth, continuous pivoting motion. The pivot mechanism includes a lower ring mounted on a pressure plate, an upper ring mounted on a housing upper plate and ball transfer units disposed on the lower ring. Corresponding bearing wedges depend downwardly from the upper ring. As the pressure plate tilts during the polishing process, the load balls of the ball transfer units roll against the corresponding wedges, thus producing a smooth, continuous pivoting motion. A universal joint may be provided to the carrier to effect the rotation of the carrier and to aid the smooth, continuous pivoting motion of the wafer carrier.
(FR)L'invention concerne un support de tranche pivotant qui produit un minimum de frottement interne et un mouvement de pivotement continu sans à-coups. Le mécanisme de pivotement comprend un anneau inférieur monté sur une plaque d'appui, un anneau supérieur monté sur une plaque supérieure de corps et des unités de transfert à billes placées sur l'anneau inférieur. Des cales de coussinet correspondantes se déploient vers le bas depuis l'anneau supérieur. A mesure que la plaque d'appui est inclinée pendant le processus de polissage, les billes de charge des unités de transfert à billes roulent contre les cales correspondantes, ce qui produit un mouvement de pivotement continu sans à-coups. Un joint universel peut être installé sur le support pour permettre une rotation de celui-ci et faciliter le mouvement de pivotement continu sans à-coups du support de tranche.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)