WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2004097493) METHOD AND ARRAY FOR DETERMINING THE FOCAL POSITION DURING IMAGING OF A SAMPLE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/097493    International Application No.:    PCT/EP2004/004427
Publication Date: 11.11.2004 International Filing Date: 27.04.2004
IPC:
G02B 7/32 (2006.01), G02B 21/24 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS JENA GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10, 07745 Jena (DE) (For All Designated States Except US).
BUBLITZ, Daniel [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GRÄFE, Dieter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WESTPHAL, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BUBLITZ, Daniel; (DE).
GRÄFE, Dieter; (DE).
WESTPHAL, Peter; (DE)
Agent: GRÖBER, Volker; Carl Zeiss Jena GmbH, Carl-Zeiss-Promenade 10, 07745 Jena (DE)
Priority Data:
103 19 182.8 29.04.2003 DE
Title (DE) VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR BESTIMMUNG DER FOKUSPOSITION BEI DER ABBILDUNG EINER PROBE
(EN) METHOD AND ARRAY FOR DETERMINING THE FOCAL POSITION DURING IMAGING OF A SAMPLE
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR DETERMINER LA POSITION DU POINT FOCAL LORS DE L'OBTENTION D'UNE IMAGE D'UN ECHANTILLON
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bestimmung der Fokusposition bei der Abbildung einer Probe (4), bei dem eine Feldblende auf die Probe abgebildet wird, diese Abbildung mittels einer relativ zur Feldblende geneigten positionssempfindlichen Empfangseinrichtung detektiert und die Fokusposition anhand der Intensitätsverteilung auf der Empfangseinrichtung bestimmt wird. Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf Anordnungen zur Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens. Erfindungsgemäss wird bei einem Verfahren der eingangs genannten Art die Abbildung der Feldblende auf die Probe (4) zumindest teilweise durch die Abbildung eines optischen Gitters überlagert; mittels der positionsempfindlichen Empfangseinrichtung werden Intensitätswerte für das von der Probe reflektierte Licht gewonnen; diese Intensitätswerte werden Positionen auf der Empfangseinrichtung zugeordnet; aus den positionsbezogen Kontrastwerte ermittelt; anhand dieser Kontrastwerte wird die Position des Kontrastschwerpunktes auf der Empfangseinrichtung als Äquivalent für die aktuelle Fokusposition bestimmt.
(EN)The invention relates to a method for determining the focal position during imaging of a sample (4), according to which a field-limiting aperture is imaged onto the sample, said image is detected by means of a position-sensitive receiver device that is inclined relative to the field-limiting aperture, and the focal position is determined based on the intensity distribution on the receiver device. The invention further relates to arrays for carrying out the inventive method. According to a method of said type, an image of an optical grating at least partly overlaps the image of the field-limiting aperture on the sample (4); intensity values for the light reflected by the sample are obtained by means of the position-sensitive receiver device; said intensity values are assigned to positions on the receiver device; position-related contrast values are determined from the position-related intensity values; the position of the contrast centroid on the receiver device is determined as the equivalent of the actual focal position based on said contract values.
(FR)L'invention concerne un procédé de détermination de la position du point focal lors de l'obtention de l'image d'un échantillon (4), selon lequel un diaphragme de champ est reproduit sur l'échantillon, l'image formée est détectée au moyen d'un dispositif de réception sensible à la position, incliné par rapport audit diaphragme de champ, et la position du point focal est déterminée sur la base de la répartition de l'intensité sur le dispositif de réception. L'invention concerne également des dispositifs permettant la mise en oeuvre de ce procédé. Selon le procédé présenté : la reproduction du diaphragme de champ sur l'échantillon (4) est recouverte au moins partiellement par la reproduction d'un réseau de diffraction ; les valeurs d'intensité de la lumière réfléchie par l'échantillon sont obtenues au moyen du dispositif de réception sensible à la position ; ces valeurs d'intensité sont associées à des positions sur le dispositif de réception ; des valeurs de contraste en rapport avec la position sont déterminées à partir des valeurs d'intensité en rapport avec la position ; et, sur la base de ces valeurs de contraste, la position du point central de contraste sur le dispositif de réception est déterminée en tant qu'équivalent de la position du moment du point focal.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)