WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Options
Query Language
Stem
Sort by:
List Length
Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persist, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO2004097437) SPACE-SAVING TEST STRUCTURES HAVING IMPROVED CAPABILITIES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2004/097437 International Application No.: PCT/US2004/012069
Publication Date: 11.11.2004 International Filing Date: 19.04.2004
Chapter 2 Demand Filed: 12.01.2005
IPC:
G01R 31/28 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31
Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28
Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
Applicants: KIM, Hyeon-Seag[KR/US]; US (UsOnly)
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.[US/US]; One AMD Place Mail Stop 68 P.O. Box 3453 Sunnyvale, CA 94088-3453, US (AllExceptUS)
Inventors: KIM, Hyeon-Seag; US
Agent: COLLOPY, Daniel, R.; One AMD Place Mail Spop 68 P.O. Box 3453 Sunnyvale, CA 94088-3453, US
PICKER, Madeline, M.; Brookes Batchellor LLP 102-108 Clerkenwell Road London EC1M 5SA, GB
Priority Data:
10/423,19725.04.2003US
Title (EN) SPACE-SAVING TEST STRUCTURES HAVING IMPROVED CAPABILITIES
(FR) STRUCTURES DE TEST D'ENCOMBREMENT REDUIT AYANT DES CAPACITES AMELIOREES
Abstract:
(EN) A space-saving test structure includes a core metal line (112), at least one extrusion detection line (110, 114) and an extrusion monitoring segment (130). The core metal line (112) has a 'non-linear configuration' and is capable of conducting current for an electromigration test, an isothermal test, and extrusion monitoring. The at least one extrusion detection line (110, 114) is situated adjacent to the core metal line (112). The extrusion monitoring segment (130) is electrically connected to the at least one extrusion detection line (110, 114). The extrusion monitoring segment (130) is adapted to determine whether an extrusion occurs in the core metal line (112) by measuring a resistance between the core metal line (112) and the at least one extrusion detection line (110, 114).
(FR) La présente invention a trait à une structure de test à encombrement réduit comportant une ligne métallique d'âme (112), au moins une ligne de détection d'extrusion (110, 114) et un segment de contrôle d'extrusion (130). La ligne métallique d'âme (112) présente une configuration non linéaire et est apte à la conduction de courant pour un test d'électromigration, un test isotherme, et un contrôle d'extrusion. Ladite au moins une ligne de détection d'extrusion (110, 114) est située adjacente à la ligne métallique d'âme (112). Le segment de contrôle d'extrusion (130) est en liaison électrique avec ladite au moins une ligne de détection d'extrusion (110, 114). Le segment de contrôle d'extrusion (130) est apte à la détermination de la survenance d'une extrusion dans la ligne métallique d'âme (112) par la mesure d'une résistance entre la ligne métallique d'âme (112) et ladite au moins une ligne de détection d'extrusion (110, 114).
front page image
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)