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1. (WO2004097363) LEAK DETECTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/097363    International Application No.:    PCT/EP2004/003789
Publication Date: 11.11.2004 International Filing Date: 08.04.2004
IPC:
G01M 3/20 (2006.01)
Applicants: INFICON GMBH [DE/DE]; Bonner Strasse 498, 50968 Köln (DE) (For All Designated States Except US).
BÖHM, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
DÖBLER, Ulrich [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HIRCHE, Ralf [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GROßE BLEY, Werner [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BÖHM, Thomas; (DE).
DÖBLER, Ulrich; (DE).
HIRCHE, Ralf; (DE).
GROßE BLEY, Werner; (DE)
Agent: SELTING, Günther; Deichmannhaus am Dom, Bahnhofsvorplatz 1, 50667 Köln (DE)
Priority Data:
103 19 633.1 02.05.2003 DE
Title (DE) LECKSUCHGERÄT
(EN) LEAK DETECTOR
(FR) APPAREIL DE DETECTION DE FUITES
Abstract: front page image
(DE)Das nach dem Gegenstromprinzip arbeitende Lecksuchgerät enthält eine erste Hochvakuumpumpe (16), die in Reihe mit einer Vorvakuumpumpe (20) betrieben wird. An den Verbindungspunkt ist eine zweite Hochvakuumpumpe (22) angeschlossen, deren Eintrittsseite (23) mit einem Massenspektrometer (24) verbunden ist. Das leichte Prüfgas Helium durchströmt die zweite Hochvakuumpumpe (22) entgegen deren Förderrichtung. Die Leitung (40) von dem Einlass (13) zu der Eintrittsseite (15) der ersten Hochvakuumpumpe (16) ist frei von Drosselstellen und Ventilen, so dass ein hohes Saugvermögen für Helium entsteht mit der Folge einer kurzen Ansprechzeit des Lecksuchgerätes. Ein Ventil (18) zum Absperren der über die erste Hochvakuumpumpe (16) führenden Leitung ist zwischen der Austrittsseite (17) dieser Hochvakuumpumpe und der Eintrittsseite (19) der Vorvakuumpumpe (20) angeordnet.
(EN)The invention relates to a leak detector operating according to a counterflow principle and comprising a first high vacuum pump (16) which operates in series with a primary pump (20). A second high vacuum pump (22) is branched at a connecting point and the entry side thereof (23) is connected to a mass-spectrometer (24). A light test gas in the form of helium flows through the second high vacuum pump (22) in an opposite direction with respect to a transport direction. A pipe (40) connecting an inlet (13) to the entry side (15) of the first high vacuum pump (16) is devoid of restricted flow zones and valves in such a way that the pumping capacity of the inventive leak detector is higher than for helium, thereby reducing the response time thereof. A valve for blocking the pipe leading to the first high vacuum pump (16) is arranged between the entry side (17) thereof and the exit side (19) of the primary pump 20.
(FR)L'invention concerne un appareil de détection de fuites fonctionnant selon le principe du contre-courant, qui comprend une première pompe à vide poussé (16) fonctionnant en série avec une pompe primaire (20). Une deuxième pompe à vide poussé (22) est raccordée au niveau du point de jonction, et le côté entrée (23) de celle-ci est relié à un spectromètre de masse (24). Un gaz témoin léger se présentant sous la forme d'hélium traverse la deuxième pompe à vide poussé (22) dans le sens inverse au sens de refoulement. Le conduit (40) reliant l'amenée (13) au côté entrée (15) de la première pompe à vide poussé (16) est exempt de zones d'étranglement et de soupapes, de sorte que l'appareil de détection de fuites présente une capacité de pompage élevée vis-à-vis de l'hélium et que, par conséquent, son temps de réaction soit court. Une soupape (18) destinée à bloquer le conduit menant à la première pompe à vide poussé (16) est disposée entre le côté sortie (17) de ladite première pompe à vide et le côté entrée (19) de la pompe primaire (20).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)