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1. (WO2004097067) GAS EVACUATION DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/097067    International Application No.:    PCT/IT2003/000264
Publication Date: 11.11.2004 International Filing Date: 29.04.2003
IPC:
C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/509 (2006.01)
Applicants: MICROCOAT S.P.A [IT/IT]; Via Marie Curie, 1-3, I-20018 Sedriano (IT) (For All Designated States Except US).
LURIDIANA, Sebastiano [IT/IT]; (IT) (For US Only)
Inventors: LURIDIANA, Sebastiano; (IT)
Agent: PERANI, Aurelio; c/o Perani Mezzanotte & Partners, Piazza San Babila, 5, I-20122 Milano (IT)
Priority Data:
Title (EN) GAS EVACUATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'EVACUATION DE GAZ
Abstract: front page image
(EN)A device (1) for evacuating the mixture of process gases present inside a reaction chamber (2) in which the disposition of thin coatings on objects or substrates to be coated takes place, the reaction chamber (2) comprising means (3) for injecting gases, which means have a plurality of injectors (4), a first electrode (5) supplied with voltage at radio frequency and at least a second electrode (6) at a potential different from that of the first electrode (5), and also suction means (10) for drawing the mixture of process gases, the evacuation device (1) comprising an evacuation duct (7), connected to the suction means (10), which extends inside the reaction chamber (2) and which is provided with a plurality of openings (8) in fluid communication with the chamber (2).
(FR)L'invention concerne un dispositif (1) permettant d'évacuer le mélange de gaz de procédé présents à l'intérieur d'une chambre de réaction (2), dans laquelle a lieu le dépôt de revêtements minces sur des objets ou des substrats à recouvrir. Ladite chambre de réaction (2) comprend un dispositif (3) servant à injecter des gaz de réaction et présentant une pluralité d'injecteurs (4), une première électrode (5) alimentée avec une tension à une certaine fréquence radio et au moins une seconde électrode (6) à un potentiel différent de celui de la première électrode (5), ainsi qu'un dispositif de succion (10) servant à amener le mélange de gaz de procédé. Le dispositif d'évacuation (1) comporte une conduite d'évacuation (7) reliée au dispositif de succion (10) qui s'étend à l'intérieur de la chambre de réaction (2) et qui est pourvue d'une pluralité d'ouvertures (8) en communication fluidique avec la chambre (2).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: Italian (IT)