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1. (WO2004096696) METHOD OF MANUFACTURING A MICRO-MECHANICAL ELEMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2004/096696 International Application No.: PCT/GB2004/001773
Publication Date: 11.11.2004 International Filing Date: 26.04.2004
Chapter 2 Demand Filed: 25.11.2004
IPC:
B81B 3/00 (2006.01) ,H01H 59/00 (2006.01)
Applicants: VAN KAMPEN, Robert[NL/NL]; NL (UsOnly)
SMITH, Charles, Gordon[GB/GB]; GB (UsOnly)
LUO, Jack[NL/NL]; NL (UsOnly)
WEEKS, Andrew, John[NL/NL]; NL (UsOnly)
CAVENDISH KINETICS LTD[NL/NL]; Statenlaan 57 NL-5223 LA s'Hertogenbosch, NL (AllExceptUS)
Inventors: VAN KAMPEN, Robert; NL
SMITH, Charles, Gordon; GB
LUO, Jack; NL
WEEKS, Andrew, John; NL
Agent: GILL JENINGS & EVERY; Broadgate House 7 Eldon Street London EC2M 7LH, GB
Priority Data:
102327525.04.2003NL
Title (EN) METHOD OF MANUFACTURING A MICRO-MECHANICAL ELEMENT
(FR) PROCEDE DE FABRICATION D'UN ELEMENT MICROMECANIQUE
Abstract: front page image
(EN) A method of manufacturing a micromechanical element wherein the method comprises the steps of providing a layer of base material, applying at least one at least partly sacrificial layer of an etchable material, patterning the at least partly sacrificial layer, to define at least a portion of the shape of the element, applying at least one structural layer of a mechanical material, patterning the structural layer to form at least a portion of the element, and removing at least partly the patterned at least partly sacrificial layer to release partly free the element. The mechanical material is selected from the group of conductive materials.
(FR) L'invention concerne un procédé destiné à la fabrication d'un élément micromécanique, consistant à fournir une couche de matériau de base, à appliquer au moins une couche au moins partiellement sacrificielle sur un matériau à graver, à modeler ladite couche au moins partiellement sacrificielle, pour définir au moins une partie de la forme de l'élément, à appliquer au moins une couche structurale d'un matériau mécanique, à modeler la couche structurale pour former au moins une partie de l'élément, et à enlever au moins partiellement la couche au moins partiellement sacrificielle modelée pour libérer partiellement l'élément. Le matériau mécanique est sélectionné dans le groupe des matériaux conducteurs.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)