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1. (WO2004036744) MANUFACTURING FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR FILTERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/036744    International Application No.:    PCT/US2003/024142
Publication Date: 29.04.2004 International Filing Date: 01.08.2003
Chapter 2 Demand Filed:    18.02.2004    
IPC:
H03H 3/02 (2006.01), H03H 9/56 (2006.01)
Applicants: INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard Santa Clara, CA 95052 (US)
Inventors: WANG, Li-Peng; (US).
BAR-SADEH, Eyal; (IL).
RAO, Valluri; (US).
HECK, John; (US).
MA, Qing; (US).
TRAN, Quan; (US).
TALALYEVSKY, Alexander; (IL).
GINSBURG, Eyal; (IL)
Agent: TROP, Timothy, N.; Trop, Pruner & Hu, P.C., 8554 Katy Freeway, Suite 100, Houston, TX 77024 (US)
Priority Data:
10/215,407 08.08.2002 US
Title (EN) MANUFACTURING FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR FILTERS
(FR) FABRICATION DE FILTRES DE RESONATEURS ACOUSTIQUES A SUBSTRAT PELLICULAIRE
Abstract: front page image
(EN)A film bulk acoustic resonator filter may be formed with a plurality of interconnected series and shunt film bulk acoustic resonators formed on the same membrane. Each of the film bulk acoustic resonators may be formed from a common lower conductive layer which is defined to form the bottom electrode of each film bulk acoustic resonator. A common top conductive layer may be defined to form each top electrode of each film bulk acoustic resonator. A common piezoelectric film layer, that may or may not be patterned, forms a continuous or discontinuous film.
(FR)L'invention concerne un filtre de résonateur acoustique à substrat pelliculaire peut être formé d'une pluralité de résonateurs acoustiques à substrat pelliculaire interconnectés en série ou parallèles formés sur la même membrane. Chaque résonateur acoustique à substrat pelliculaire peut être formé à partir d'une couche conductrice inférieure classique qui est définie pour former l'électrode de fond de chaque résonateur acoustique à substrat pelliculaire. Une couche conductrice supérieure classique peut être définie pour former chaque électrode supérieure de chaque résonateur acoustique à substrat pelliculaire. L'invention concerne une couche pelliculaire piézo-électrique classique qui peut être ou non modelée forme une pellicule continue ou discontinue.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)