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Pub. No.:    WO/2004/036099    International Application No.:    PCT/JP2003/013216
Publication Date: 29.04.2004 International Filing Date: 15.10.2003
F16K 27/00 (2006.01), F16K 31/06 (2006.01)
Applicants: CKD CORPORATION [JP/JP]; 250, Ouji 2-chome, Komaki-shi, Aichi 485-8551 (JP) (For All Designated States Except US).
SONY CORPORATION [JP/JP]; 7-35, Kitashinagawa 6-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 141-0001 (JP) (For All Designated States Except US).
YOSHIDA, Kazuhiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
INOUE, Takashi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MITOMO, Jugo [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NARUI, Hironobu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YOSHIDA, Kazuhiro; (JP).
INOUE, Takashi; (JP).
MITOMO, Jugo; (JP).
NARUI, Hironobu; (JP)
Agent: TOMIZAWA, Takashi; Annex 2nd Floor, Nagoya Center Building, 2-22, Nishiki 2-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 460-0003 (JP)
Priority Data:
2002-305512 21.10.2002 JP
(JA) ガス集積弁
Abstract: front page image
(EN)An integrated gas valve (1) formed so that a turbulent flow portion is not produced in carrying gas and that process gas flowed in the carrying gas is not diffused, comprising first flow passages (26) in which open/close valves (30) allowing valve elements (33) to be brought into contact with and separated from valve seats (34) by an actuator (31) to communicate and cut out valve holes (35) with and from valve chambers (36) are formed through a valve body (12) so as to be branched midway from the valve holes (35) and a second flow passage (29) formed in the valve body (12) to communicate input ports to the valve chambers, wherein the plurality of open/close valves are continuously arranged with each other in one row to form a main flow passage (23) in which the first flow passages (26) are directly connected to each other or connected in series through a connection flow passage (27) and the second flow passages (39) of the open/close valves are connected to the main flow passage (23) through the valve chambers (36) and the valve holes (35).
(FR)L'invention concerne une soupape de gaz intégrée (1) formée de manière à ne pas produire une partie d'écoulement turbulent dans un gaz porteur et à ne pas diffuser le gaz utilisé s'écoulant dans le gaz porteur, comprenant des premiers passages d'écoulement (26) dans lesquels des soupapes d'ouverture/fermeture (30), permettant de mettre en contact des éléments de soupapes (33) avec des sièges de soupapes (34) et de les séparer au moyen d'un actionneur (31), afin de faire communiquer les trous de soupapes (35) avec les chambres de soupapes (36) et de les séparer, sont formées dans le corps (12) de soupapes de manière à obtenir une ramification à mi-chemin des trous (35) de soupapes, et un second passage d'écoulement (29) est formé dans le corps (12) de soupapes afin de faire communiquer les orifices d'entrée avec les chambres de soupapes, la pluralité de soupapes d'ouverture/fermeture sont agencées de façon continue les unes par rapport aux autres en une rangée afin de former un passage d'écoulement principal (23) dans lequel les premiers passages d'écoulement (26) sont reliés directement les uns aux autres ou sont reliés en série par un passage d'écoulement de raccordement (27), et les seconds passages d'écoulement (39) des soupapes d'ouverture/fermeture sont reliés au passage d'écoulement principal (23) par l'intermédiaire des chambres (36) de soupapes et des trous (35) de soupapes.
(JA) キャリングガスの乱流部分がなく、キャリングガス内に流入させたプロセスガスが拡散しないようにしたガス集積弁を提供すること。アクチュエータ31によって弁座34に対して弁体33を当接・離間させ、弁孔35と弁室36との連通・遮断を行う開閉弁30が、途中で弁孔35と分岐するように弁本体12を貫通して形成された第1流路26と、入力ポートから弁室に連通する弁本体12に形成された第2流路29とを有するものであり、こうした複数の開閉弁を一列に連設することで、第1流路26同士が直接又は接続流路27を介して直列に接続されたメイン流路23が構成され、そのメイン流路23に対して各開閉弁の第2流路39が弁室36及び弁孔35を介して接続されたガス集積弁1。
Designated States: CN, JP, US.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)