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1. (WO2004035423) STORAGE CONTAINER FOR RECEIVING PRECISION SUBSTRATES SUCH AS WAFERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/035423    International Application No.:    PCT/JP2003/013236
Publication Date: 29.04.2004 International Filing Date: 15.10.2003
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
Applicants: KABUSHIKI KAISHA DAIHACHIKASEI [JP/JP]; 1-11-6, Tamakushimoto-machi, Higashiosaka-shi, Osaka 578-0933 (JP) (For All Designated States Except US).
PLA-NET CORPORATION [JP/JP]; Roppongi 25 Mori Bldg., 1-4-30, Roppongi, Minato-ku, Tokyo 106-0032 (JP) (For All Designated States Except US).
UEDA, Shigeaki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
WATANABE, Yasuyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: UEDA, Shigeaki; (JP).
WATANABE, Yasuyuki; (JP)
Agent: FUJIYOSHI, Kanji; c/o Fuji Patent Firm, 7-32-S605, Hagoromo-cho, Nishinomiya-shi, Hyogo 662-0051 (JP)
Priority Data:
2002-302921 17.10.2002 JP
Title (EN) STORAGE CONTAINER FOR RECEIVING PRECISION SUBSTRATES SUCH AS WAFERS
(FR) RECIPIENT DE STOCKAGE POUR LA RECEPTION DE SUBSTRATS DE PRECISION TELS QUE DES PLAQUETTES
(JA) ウエハ等精密基板収容容器
Abstract: front page image
(EN)A storage container for receiving precision substrates such as wafers, having increased strength and improved drying ability when washed. The storage container has a letter L-shaped circumferential wall (12) projectingly provided on an outer wall face, the circumferential wall functioning as a gasket insertion groove (12a). A first flange (13) horizontally extending from the lower end face of the letter L-shaped circumferential wall (12) and a second flange (14) horizontally extending from a position 10-30 mm lower than the first flange are respectively formed integrally with the container. Vertical ribs (15) are formed between the lower face of the first flange (13) and the upper face of the second flange (14).
(FR)L'invention concerne un récipient de stockage qui permet de recevoir des substrats de précision, tels que des plaquettes, et qui présente une longueur accrue et une capacité de séchage améliorée lors du lavage. Ce récipient de stockage a une paroi de circonférence en forme de L (12) ressortant en saillie d'une face de paroi externe, la paroi de circonférence servant de rainure d'insertion de joint statique (12a). Une première bride (13) qui s'étend horizontalement de la face d'extrémité inférieure de la paroi de circonférence en forme de L (12) et une seconde bride (14) qui s'étend horizontalement d'une position de 10 à 30 mm en-dessous de la première bride sont respectivement formées en une seule pièce avec le récipient. Des nervures verticales (15) sont formées entre la face inférieure de la première bride (13) et la face supérieure de la seconde bride (14).
(JA)not available
Designated States: CN, DE, KR, US.
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)