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1. (WO2004032593) EXTREMELY THIN SUBSTRATE SUPPORT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/032593    International Application No.:    PCT/EP2003/010358
Publication Date: 22.04.2004 International Filing Date: 18.09.2003
Chapter 2 Demand Filed:    26.03.2004    
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: SCHOTT AG [DE/DE]; Hattenbergstrasse 10, 55122 Mainz (DE) (For All Designated States Except US).
ZETTERER, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ESEMANN, Hauke [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KNOCHE, Silke [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BOOSS, Claudia [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ASTHEIMER, Steffen [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WEBER, Gerhard [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HABECK, Andreas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
OTTERMANN, Clemens [DE/DE]; (DE) (For US Only).
PLICHTA, Armin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
RUDAS, Gerd [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BÖHM, Frank [DE/DE]; (DE) (For US Only).
VOGES, Frank [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: ZETTERER, Thomas; (DE).
ESEMANN, Hauke; (DE).
KNOCHE, Silke; (DE).
BOOSS, Claudia; (DE).
ASTHEIMER, Steffen; (DE).
WEBER, Gerhard; (DE).
HABECK, Andreas; (DE).
OTTERMANN, Clemens; (DE).
PLICHTA, Armin; (DE).
RUDAS, Gerd; (DE).
BÖHM, Frank; (DE).
VOGES, Frank; (DE)
Agent: WEITZEL & PARTNER; Friedenstrasse 10, 89522 Heidenheim (DE)
Priority Data:
202 15 401.7 07.10.2002 DE
103 23 304.0 21.05.2003 DE
103 23 301.6 21.05.2003 DE
103 23 302.4 21.05.2003 DE
103 23 303.2 21.05.2003 DE
103 30 430.4 04.07.2003 DE
Title (DE) DÜNNSTSUBSTRATTRÄGER
(EN) EXTREMELY THIN SUBSTRATE SUPPORT
(FR) PORTE-SUBSTRAT MINCE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft einen Dünnstsubstratträger, umfassend ein Tragelement, das ein Dünnstsubstrat mit einer Dicke von weniger als 0,3 mm aufnimmt. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Tragelement als Rahmenelement ausgebildet ist, auf welches das Dünnstsubstrat ausschließlich mit mindestens einem Teilbereich seines Umfangsbereiches biegesteif aufgelegt ist. Der Auflagebereich des Rahmenelements ist dabei derart gestaltet, dass eine Durchbiegung des Dünnstsubstrats im Wesentlichen vollständig vermieden wird.
(EN)The invention relates to an extremely thin substrate support, comprising a support element which houses an extremely thin substrate with a thickness of less than 0.3 mm. The invention is characterised in that the support element is embodied as a frame element on which the extremely thin substrate is rigidly supported with only at least a partial region of the edge thereof. The support region of the frame element is embodied such that a bending of the extremely thin substrate is essentially completely avoided.
(FR)L'invention concerne un porte-substrat mince composé d'un élément porteur supportant un substrat mince d'une épaisseur inférieure à 0,3 mm. Cette invention se caractérise en ce que ledit élément porteur se présente sous la forme d'un élément d'encadrement sur lequel le substrat mince est supporté de façon résistante à la flexion seulement par au moins une partie de sa zone périphérique. La zone support de cet élément d'encadrement est conçue de sorte qu'une flexion du substrat mince est sensiblement complètement évitée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)