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1. (WO2004031830) AUTOFOCUS DEVICE AND METHOD FOR OPTICAL EXAMINATION AND/OR DETECTION OF LAYERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/031830    International Application No.:    PCT/EP2003/010784
Publication Date: 15.04.2004 International Filing Date: 25.09.2003
Chapter 2 Demand Filed:    19.02.2004    
IPC:
G02B 21/24 (2006.01)
Applicants: OLYMPUS BIOSYSTEMS GMBH [DE/DE]; Robert-Koch-Strasse 9, 82152 Planegg (DE) (For All Designated States Except US).
SEEL, Matthias [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHALLER, Ines [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: SEEL, Matthias; (DE).
SCHALLER, Klaus;
Agent: WEICKMANN & WEICKMANN; Postfach 860 820, 81635 München (DE)
Priority Data:
102 44 618.0 25.09.2002 DE
Title (DE) AUTOFOKUS-EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR OPTISCHEN UNTERSUCHUNG ODER/UND ERFASSUNG BON SCHICHTEN
(EN) AUTOFOCUS DEVICE AND METHOD FOR OPTICAL EXAMINATION AND/OR DETECTION OF LAYERS
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE POUR L'ANALYSE OPTIQUE D'OBJET OU POUR LA DETECTION OU L'ANALYSE DE COUCHES
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft allgemein eine Anordnung und ein Verfahren zum automatischen Scharfstellen oder Fokussieren wenigstens eines optischen Strahlengangs auf eine reflektierende Schicht oder Grenzfläche oder/und relativ zu einer/der reflektierenden Schicht oder Grenzfläche. Der bzw. ein Strahlengang (150) geht von einer Laserlichtquelle (140) oder einem Laserlichtausgang aus und richtet einen Laserstrahl auf die reflektierende Schicht oder Grenzfläche. Mittels einer Aktuatoranordnung (146) ist der Strahlengang in einen definierten Scharfsteill- oder Fokussierungszustand verstellbar bzw. wird in einen solchen Zustand verstellt. In diesem Zustand wird der Laserstrahl definiert auf die Schicht oder Grenzfläche fokussiert oder abgebildet und ein von der Schicht oder Grenzfläche reflektierter Laserstrahl über den Strahlengang definiert auf eine Detektoranordnung (166, 170) fokussiert oder abgebildet.
(EN)The invention relates to an array and a method for automatic focusing of at least one optical beam path on a reflecting layer or boundary surface and/or relative to a reflecting layer or boundary surface. The beam path (150) comes out of a laser light source (140) or laser light output and directs a laser beam onto the reflecting layer or boundary layer. The beam path can be set to a defined focusing state by means of an actuator array (146) or is set in such a state. In said state, the laser beam is focused or reflected in a defined manner on the laser or boundary layer and a laser beam that is reflected from the layer or boundary layer is focused or reflected in a defined manner through the beam path on the detector array (166, 170)t.
(FR)L'invention concerne en général un ensemble et un procédé pour la mise au point ou la focalisation automatiques d'au moins un trajet de faisceau optique sur une couche ou une surface limite réfléchissante ou par rapport à une couche ou une surface limite réfléchissante. Le trajet de faisceau (150) part d'une source de lumière laser (140) ou d'une sortie de lumière laser et dirige un rayon laser sur la couche ou la surface limite réfléchissante. Le trajet de faisceau peut être réglé ou est réglé à un état de mise au point ou de focalisation défini au moyen d'un ensemble actionneur (146). Dans cet état, le rayon laser est focalisé ou reproduit de manière définie sur la couche ou la surface limite et un rayon laser réfléchi par la couche ou la surface limite est focalisé ou reproduit de manière définie par l'intermédiaire du trajet de faisceau sur un ensemble détecteur (166, 170).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)