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1. (WO2004030416) FABRICATION SYSTEM, LIGHT-EMITTING DEVICE AND FABRICATING METHOD OF ORGANIC COMPOUND-CONTAINING LAYER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/030416    International Application No.:    PCT/JP2003/011099
Publication Date: 08.04.2004 International Filing Date: 29.08.2003
Chapter 2 Demand Filed:    17.03.2004    
IPC:
C23C 14/12 (2006.01), C23C 14/22 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01), H01L 51/40 (2006.01), H05B 33/10 (2006.01), H05B 33/14 (2006.01)
Applicants: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. [JP/JP]; 398, Hase, Atsugi-shi, Kanagawa 243-0036 (JP) (For All Designated States Except US).
YAMAZAKI, Shunpei [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MURAKAMI, Masakazu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KUWABARA, Hideaki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YAMAZAKI, Shunpei; (JP).
MURAKAMI, Masakazu; (JP).
KUWABARA, Hideaki; (JP)
Agent: OSHIMA, Yoichi; 7th Floor, Kitagawa Bldg., 42, Kagurazaka 6-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 162-0825 (JP)
Priority Data:
2002-255276 30.08.2002 JP
Title (EN) FABRICATION SYSTEM, LIGHT-EMITTING DEVICE AND FABRICATING METHOD OF ORGANIC COMPOUND-CONTAINING LAYER
(FR) SYSTEME DE FABRICATION, DISPOSITIF ELECTROLUMINESCENT ET PROCEDE DE FABRICATION D'UNE COUCHE CONTENANT UN COMPOSE ORGANIQUE
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides a vapor deposition system for a film forming systems that promote an efficiency of utilizing an EL material and is excellent in uniformity or throughput of forming an EL layer and a vapor deposition method. According to the present invention, vapor deposition is carried out in a deposition chamber by moving an evaporation source holder 903 on which six containers 911 filled with an evaporation material are set at a certain pitch with respect to the substrate. The evaporation holder 903 is transported from an installation chamber 905 by a transport mechanism 902b. A heater is provided in a turntable 907. Throughput can be improved by heating the evaporation holder 903 in advance of transporting containers into the evaporation holder 903.
(FR)La présente invention concerne un système de métallisation par évaporation sous vide destiné à des systèmes de formation de film qui améliorent l'efficacité de l'utilisation d'un matériau électroluminescent (EL) et dont l'uniformité ou la production de formation d'une couche EL est excellente, ainsi qu'un procédé de métallisation par évaporation sous vide. Selon la présente invention, la métallisation par évaporation sous vide est effectuée dans une chambre de métallisation au moyen du déplacement d'un porte-source d'évaporation (903) sur lequel six contenants (911) remplis d'une matière d'évaporation, sont placés à une certaine hauteur par rapport au substrat. Le porte-source d'évaporation (903) est transporté depuis une chambre d'installation (905) par un mécanisme de transport (902b). Un dispositif de chauffe est prévu sur une plaque tournante (907). On peut améliorer le rendement lorsqu'on chauffe préalablement le porte-source (903) d'évaporation (903) avant le transport des contenants dans le porte-source d'évaporation (903).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)