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1. (WO2004029544) INTERFEROMETRIC MEASURING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/029544    International Application No.:    PCT/DE2003/001032
Publication Date: 08.04.2004 International Filing Date: 28.03.2003
IPC:
G01B 9/02 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
MARCHAL, Dominique [FR/CH]; (CH) (For US Only).
DUVOISIN, Marc-Henri [CH/CH]; (CH) (For US Only).
BREIDER, Dominique [FR/CH]; (CH) (For US Only).
DRABAREK, Pawel [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: MARCHAL, Dominique; (CH).
DUVOISIN, Marc-Henri; (CH).
BREIDER, Dominique; (CH).
DRABAREK, Pawel; (DE)
Priority Data:
102 44 553.2 25.09.2002 DE
Title (DE) INTERFEROMETRISCHE MESSEINRICHTUNG
(EN) INTERFEROMETRIC MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE INTERFEROMETRIQUE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messvorrichtung zum Erfassen der Form, der Rauheit oder des Abstandes der Oberfläche eines Messobjektes (8) mit einem Modulationsinterferometer (2), dem von einer Strahlungsquelle (1) kurzkohärente Strahlung zugeführt wird und das einen ersten Strahlteiler (2.3) zum Aufteilen der zugeführten Strahlung in einen über einen ersten Arm geführten ersten Teilstrahl (2.1) und einen über einen zweiten Arm geführten zweiten Teilstrahl (2.1') aufweist, von denen der eine gegenüber dem anderen mittels einer Modulationseinrichtung (2.2, 2.2') in seiner Licht-Phase oder Lichtfrequenz verschoben wird und eine Verzögerungsstrecke (2.9') durchläuft, und die anschliessend an einem weiteren Strahlteiler (2.10) des Modulationsinterferomters (2) vereinigt werden.
(EN)The invention relates to an interferometric measuring device for detecting the shape, roughness, and distance of the surface of an object (8) to be measured by means of a modulation interferometer (2) to which short coherent radiation is supplied by a source of radiation (1) and which comprises a first beam splitter (2.3) for splitting the supplied radiation into a first partial beam (2.1) that is guided across a first arm and a second partial beam (2.1') that is guided across a second arm. The light phase or light frequency of one of said partial beams is shifted relative to the other partial beam by means of a modulation device (2.2, 2.2'), said partial beam traveling across a delay loop (2.9'), whereupon the partial beams are reunited at another beam splitter (2.10) of the modulation interferometer (2).
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure interférométrique conçu pour détecter la forme, la rugosité ou la distance de la surface d'un objet mesuré (8). Ce dispositif comprend un interféromètre à modulation (2) dans lequel est introduit un faisceau à cohérence brève provenant d'une source de rayonnement (1) et comporte un premier séparateur de faisceau (2.3) destiné à diviser le faisceau introduit en un premier faisceau partiel (2.1) guidé par une première branche et en un second faisceau partiel (2.1') guidé par une seconde branche. Un de ces faisceaux partiels présente une phase lumineuse ou fréquence lumineuse qui est décalée par rapport à celle de l'autre desdits faisceaux partiels sous l'action d'un dispositif de modulation (2.2, 2.2') et parcourt une ligne de retard (2.9'). Ces deux faisceaux partiels sont ensuite réunis au niveau d'un autre séparateur de faisceau (2.10) dudit interféromètre à modulation (2).
Designated States: BR, CN, JP, US.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)