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1. (WO2004027448) METHODS AND APPARATUS FOR PRECISE MEASUREMENT OF TIME DELAY BETWEEN TWO SIGNALS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/027448    International Application No.:    PCT/US2003/030099
Publication Date: 01.04.2004 International Filing Date: 23.09.2003
Chapter 2 Demand Filed:    19.04.2004    
IPC:
G04F 10/00 (2006.01), G04F 10/10 (2006.01)
Applicants: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 55 Cherry Hill Drive, Beverly, MA 01915-1053 (US)
Inventors: SCHERER, Ernst; (US)
Agent: BURKE, Steven, D.; R.G.C. Jenkins & Co., 26 Caxton Street, London SW1H 0RJ (GB)
Priority Data:
60/412,751 23.09.2002 US
10/368,825 19.02.2003 US
Title (EN) METHODS AND APPARATUS FOR PRECISE MEASUREMENT OF TIME DELAY BETWEEN TWO SIGNALS
(FR) PROCEDES ET DISPOSITIFS POUR LA MESURE PRECISE DU RETARD ENTRE DEUX SIGNAUX
Abstract: front page image
(EN)Apparatus and methods are disclosed for measuring time delays between pulse streams or other input signals and for measuring ion beam energies in an ion implantation system. A variable delay apparatus is applied to one input signal, and the signals are correlated or compared in a correlator apparatus providing a minimum, maximum, or other ascertainable output signal value when a delay value of the variable delay is representative of the time delay between the first and second input signals. By adjusting or sweeping the variable delay until the ascertainable correlator apparatus output value is obtained, the actual time delay is determined as the dialed-in value of the variable delay that produces the ascertainable correlator output value. The variable delay measurement apparatus and methods may be employed in ion implantation system for measuring ion beam energies using time of flight probes, wherein the system and the time delay measurement apparatus may be calibrated to remove any residual delays of the system, such as delay offsets related to channel imbalance in the system and connecting devices. In addition, a unique error correction method is disclosed, which may be applied to the time delay measurement system measurement to minimize or mitigate errors introduced by electronic components of the system.
(FR)L'invention concerne des appareils et des dispositifs pour la mesure du retard entre des trains d'impulsions ou autres signaux d'entrée et de l'énergie de faisceau d'ions dans un système d'implantation ionique. Un dispositif à retard variable est appliqué à un signal d'entrée, et les signaux sont corrélés ou comparés dans un corrélateur qui fournit une valeur minimum, maximum, ou autre valeur de signal de sortie vérifiable lorsqu'une valeur du retard variable est représentative du retard entre les premier et second signaux de sortie. Le réglage ou le balayage du retard variable jusqu'à l'obtention de la valeur de sortie vérifiable du corrélateur permet de déterminer le retard effectif comme valeur enregistrée du retard variable qui produit la valeur de sortie vérifiable du corrélateur. Les applications des appareils et des procédés de mesure de retard variable sont les suivantes: système d'implantation ionique pour la mesure de l'énergie de faisceau d'ions utilisant des sondes de durée du trajet, avec possibilité d'étalonnage du système et du dispositif de mesure de retard pour supprimer tout retard résiduel du système, du type décalages de retard liés au déséquilibre de canal dans le système et les dispositifs de connexion. On décrit aussi un procédé de correction d'erreur unique, susceptible d'être appliqué aux mesures du système de mesure de retard pour réduire au minimum ou atténuer les erreurs introduites par des composantes électroniques du système.
Designated States: JP.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)