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1. (WO2004027435) BUILT-IN SELF TEST OF MEMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/027435    International Application No.:    PCT/US2003/029920
Publication Date: 01.04.2004 International Filing Date: 18.09.2003
Chapter 2 Demand Filed:    04.02.2004    
IPC:
G01C 19/56 (2012.01), G01P 15/125 (2006.01), G01P 21/00 (2006.01)
Applicants: CARNEGIE MELLON UNIVERSITY [US/US]; 4615 Forbes Avenue, Pittsburgh, PA 15230 (US)
Inventors: BLANTON, Ronald, DeShawn; (US).
DEB, Nilmoni; (US)
Agent: PENCOSKE, Edward, L.; Thorp Reed & Armstrong, LLP, One Oxford Centre, 14th Floor, 301 Grant Street, Pittsburgh, PA 15219-1425 (US)
Priority Data:
60/411,703 18.09.2002 US
Title (EN) BUILT-IN SELF TEST OF MEMS
(FR) MEMS A AUTOTEST INCORPORE
Abstract: front page image
(EN)The present disclosure is directed to an apparatus and method for producing and comparing signals from various points in a MEMS device. By producing signals which should be of substantial identical characteristics, deviations from the situation where the signals are of identical characteristics can be used to identify various types of asymmetry which are otherwise difficult to detect. In one embodiment, the MEMS device is comprised of a plurality of fixed beams arranged symmetrically and a plurality of movable beams arranged symmetrically. A first sensor is formed by certain of the fixed and movable beams while a second sensor, electrically isolated from said first sensor, is formed by at least certain other of the fixed and movable beams. The first and second sensors are located within the MEMS device so as to produce signals of substantially identical characteristics. A circuit is responsive to the first and second sensors for comparing the signals produced by the first and second sensors. In addition to the apparatus, methods of performing a self test are also disclosed, which may be performed in real time.
(FR)L'invention concerne un appareil et un procédé pour émettre et comparer des signaux provenant de différents points d'un dispositif MEMS (système microélectromécanique). La production de signaux dont les caractéristiques devraient être sensiblement identiques permet d'utiliser des altérations d'une situation où les signaux ont des caractéristiques identiques pour identifier différents types d'asymétrie, lesquels sont sinon difficiles à détecter. Dans un mode de réalisation, le dispositif MEMS comporte une pluralité de faisceaux fixes symétriques et une pluralité de faisceaux mobiles symétriques. Un premier capteur est formé par des faisceaux fixes et mobiles donnés, et un second capteur, électriquement isolé du premier, est constitué par quelques-uns au moins des autres faisceaux fixes et mobiles. Le premier et le second capteur se trouvent à l'intérieur du dispositif MEMS de manière à émettre des signaux de caractéristiques sensiblement identiques. Un circuit sensible au premier et au second capteur compare les signaux émis par ceux-ci. La présente invention porte également sur des procédés pour effectuer un autotest, qui peut être réalisé en temps réel.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)