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1. WO2004025239 - SYSTEM AND PROCESS FOR DETECTING LEAKS IN SEALED ARTICLES

Publication Number WO/2004/025239
Publication Date 25.03.2004
International Application No. PCT/US2003/025588
International Filing Date 15.08.2003
Chapter 2 Demand Filed 24.03.2004
IPC
G01N 21/88 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws, defects or contamination
CPC
G01M 3/363
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Investigating fluid-tightness of structures
02by using fluid or vacuum
36by detecting change in dimensions of the structure being tested
363the structure being removably mounted in a test cell
G01N 2201/0227
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2201Features of devices classified in G01N21/00
02Mechanical
022Casings
0227Sealable enclosure
G03H 1/0443
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
HHOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
1Holographic processes or apparatus using light, infra-red or ultra-violet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
04Processes or apparatus for producing holograms
0443Digital holography, i.e. recording holograms with digital recording means
Applicants
  • NORCOM SYSTEMS INC. [US]/[US]
Inventors
  • NEWMAN, John, W.
  • THAYER, Steve
Agents
  • KNOBLE, John, L.
Priority Data
60/406,86229.08.2002US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) SYSTEM AND PROCESS FOR DETECTING LEAKS IN SEALED ARTICLES
(FR) SYSTEME ET PROCEDE DE DETECTION DE FUITES DANS LES ARTICLES ETANCHES
Abstract
(EN)
A system and method for leak testing a plurality of hermetic electronic devices of the type that have an internai chamber that is isolated from ambient conditions by a seal structure is advantageously designed to be able to calculate the leak rate of each individual device in a marner that is independent of structural manufacturing variances that typically exist within a sampling of such devices. The method preferably involves positioning a plurality of the hermetic electronic devices within a test area, and then stimulating the hermetic electronic devices with a modulated input of energy, such as by varying the ambient pressure about the devices. A property such as the physical position of one portion of a lid of each of the hermetic electronic devices is then sensed. The sensed property is one that is known to change as a first function of the modulated input of energy and also as a second function of pressure conditions within the hermetically sealed internal chamber. The first and second functions are linearly independent of each other. By comparing the stimulation of the devices to the sensed property and by discriminating using the two known functions a leak rate is determined for each individual device that is substantially independent of variances, such as differences in lid thickness that may exist between the different devices. Accordingly, an accurate determination of leak rate may be made with a minimum of calibration.
(FR)
L'invention concerne un système et un procédé permettant de tester les fuites d'une pluralité de dispositifs électroniques hermétiques tels ceux qui sont pourvus d'une chambre interne qui est isolée des conditions ambiantes au moyen d'une structure étanche. Ce système et ce procédé sont avantageusement conçus pour pouvoir calculer la vitesse de fuite de chaque dispositif individuel de manière qu'elle soit indépendante des différences de fabrication structurelles qui existent généralement dans un échantillon de ces dispositifs. Le procédé consiste de préférence à positionner une pluralité de dispositifs électroniques hermétiques dans une zone d'essai, puis à stimuler les dispositifs hermétiques au moyen d'une entrée modulée d'énergie, par exemple grâce à la variation de la pression ambiante autour des dispositifs. Une propriété telle que la position physique d'une partie d'un couvercle de chaque dispositif électronique hermétique est alors détectée. Cette propriété détectée est connue pour se modifier en tant que première fonction de l'entrée d'énergie modulée mais aussi en tant que deuxième fonction des conditions de pression dans la chambre interne hermétiquement fermée. La première et la seconde fonctions sont linéairement indépendantes l'une de l'autre. La comparaison de la stimulation des dispositifs avec la propriété détectée et la distinction au moyen des deux fonctions connues permettent de déterminer une vitesse de fuite pour chaque dispositif individuel qui est sensiblement indépendante des différences, telles que les différences d'épaisseur de couvercle qui peuvent exister entre les différents dispositifs. Par conséquent, une détermination précise de la vitesse de fuite peut être obtenue avec un minimum de calibrage.
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