(EN) A system and method for leak testing a plurality of hermetic electronic devices of the type that have an internai chamber that is isolated from ambient conditions by a seal structure is advantageously designed to be able to calculate the leak rate of each individual device in a marner that is independent of structural manufacturing variances that typically exist within a sampling of such devices. The method preferably involves positioning a plurality of the hermetic electronic devices within a test area, and then stimulating the hermetic electronic devices with a modulated input of energy, such as by varying the ambient pressure about the devices. A property such as the physical position of one portion of a lid of each of the hermetic electronic devices is then sensed. The sensed property is one that is known to change as a first function of the modulated input of energy and also as a second function of pressure conditions within the hermetically sealed internal chamber. The first and second functions are linearly independent of each other. By comparing the stimulation of the devices to the sensed property and by discriminating using the two known functions a leak rate is determined for each individual device that is substantially independent of variances, such as differences in lid thickness that may exist between the different devices. Accordingly, an accurate determination of leak rate may be made with a minimum of calibration.
(FR) L'invention concerne un système et un procédé permettant de tester les fuites d'une pluralité de dispositifs électroniques hermétiques tels ceux qui sont pourvus d'une chambre interne qui est isolée des conditions ambiantes au moyen d'une structure étanche. Ce système et ce procédé sont avantageusement conçus pour pouvoir calculer la vitesse de fuite de chaque dispositif individuel de manière qu'elle soit indépendante des différences de fabrication structurelles qui existent généralement dans un échantillon de ces dispositifs. Le procédé consiste de préférence à positionner une pluralité de dispositifs électroniques hermétiques dans une zone d'essai, puis à stimuler les dispositifs hermétiques au moyen d'une entrée modulée d'énergie, par exemple grâce à la variation de la pression ambiante autour des dispositifs. Une propriété telle que la position physique d'une partie d'un couvercle de chaque dispositif électronique hermétique est alors détectée. Cette propriété détectée est connue pour se modifier en tant que première fonction de l'entrée d'énergie modulée mais aussi en tant que deuxième fonction des conditions de pression dans la chambre interne hermétiquement fermée. La première et la seconde fonctions sont linéairement indépendantes l'une de l'autre. La comparaison de la stimulation des dispositifs avec la propriété détectée et la distinction au moyen des deux fonctions connues permettent de déterminer une vitesse de fuite pour chaque dispositif individuel qui est sensiblement indépendante des différences, telles que les différences d'épaisseur de couvercle qui peuvent exister entre les différents dispositifs. Par conséquent, une détermination précise de la vitesse de fuite peut être obtenue avec un minimum de calibrage.