WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2004010492) OPENING/CLOSING DEVICE OF SUBSTRATE HOLDING CONTAINER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/010492    International Application No.:    PCT/JP2002/012860
Publication Date: 29.01.2004 International Filing Date: 09.12.2002
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
Applicants: MTC,CO.,LTD [JP/JP]; 7-14-37, Bessho, Saitama-shi, Saitama 336-0021 (JP) (For All Designated States Except US).
IMAI, Atsuo [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: IMAI, Atsuo; (JP)
Agent: TAKAHASHI, Hiroshi; Kumagai manshon 1st floor, 1-7-13, Roppongi, Minato-ku, Tokyo 106-0032 (JP)
Priority Data:
2002-209558 18.07.2002 JP
Title (EN) OPENING/CLOSING DEVICE OF SUBSTRATE HOLDING CONTAINER
(FR) DISPOSITIF D'OUVERTURE ET DE FERMETURE D'UN RECIPIENT DE MAINTIEN D'UN SUBSTRAT
(JA) 基板保持容器の開閉装置
Abstract: front page image
(EN)An opening/closing device of a substrate holding container, wherein, when an SMIF pod (12) is horizontally moved on a loading part (13), a pin rotating body (23) is positioned on a lower side and, when loaded at a specified position, a lever (25) is raised to position the pin rotating body (23) on an upper side so as to engage pin fitting holes with engagement pins (23A, 23B), and when the lever (25) is rotated, the pin fitting holes are operated through the pin rotating body (23) to operate a latch mechanism so as to operate the latch claws (34A, 34B) of a holding part (31) in the relation of being latched with the latch fitting parts (33A, 33B) formed in a pod cover (32), whereby the substrate holding container can be easily positioned at an open/close positions, and the efficiency of open/close operations can be increased.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'ouverture et de fermeture d'un récipient de maintien d'un substrat, dans lequel, lorsqu'une enveloppe (12) est déplacée horizontalement sur une pièce de charge (13), un corps de rotation à tige (23) est positionné sur une face inférieure lorsqu'il est chargé en un emplacement spécifié, un levier (25) est soulevé pour positionner ledit corps (23) sur une face supérieure de manière à amener en prise les trous d'ajustement avec les tiges d'engagement (23A, 23B), et lorsque le levier (25) est tourné, les trous d'ajustement avec les tiges sont opérationnels à travers le corps de rotation à tige (23) pour actionner un mécanisme de blocage agissant sur les griffes de blocage (34A, 34B) d'une pièce de fixation (31), verrouillée avec les éléments d'ajustement (33A, 33B) formés dans un couvercle d'enveloppe (32), de sorte que le récipient de maintien du substrat peut être facilement amené en une position ouverte ou fermée, l'efficacité des opérations d'ouverture et de fermeture pouvant être en même temps accrue.
(JA)not available
Designated States: CN, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)