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1. (WO2004010473) BUBBLER FOR SUBSTRATE PROCESSING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/010473    International Application No.:    PCT/US2003/022392
Publication Date: 29.01.2004 International Filing Date: 18.07.2003
IPC:
C23C 16/24 (2006.01), C23C 16/40 (2006.01), C23C 16/448 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Applicants: ASM AMERICA, INC. [US/US]; 3440 East University Drive, Phoenix, AZ 85034-7200 (US)
Inventors: STAMP, Michael, R.; (US).
AMRHEIM, Frederick, J.; (US).
DALE, Arnold, J.; (US).
POTTEBAUM, Joseph, C.; (US).
EBERT, Brian, J.; (US)
Agent: ALTMAN, Daniel, E.; Knobbe, Martens, Olson & Bear, LLP, 2040 Main Street, 14th Floor, Irvine, CA 92614 (US)
Priority Data:
60/397,806 19.07.2002 US
60/398,073 23.07.2002 US
Title (EN) BUBBLER FOR SUBSTRATE PROCESSING
(FR) BARBOTEUR POUR TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abstract: front page image
(EN)A bubbler (820) includes a main body (900), a cover member and a transition member (915). The main body (900) is made of aluminum and defines a first inner surface (902) of a cavity (904). The cover member is also made of aluminum and defines a second inner surface of the cavity (904). The cover member has a carrier gas inlet (920), a liquid source inlet (922), and a source outlet (923). The transition member (915) is made of stainless steel and has a transition outer surface (944) and a transition inner surface (916), the transition inner surface (916) being aluminum cladded.
(FR)La présente invention, qui concerne une chambre de vaporisation destinée à un système de traitement de substrat, comprend un corps principal, un élément de couverture et un élément de transition. Le corps principal, qui est en aluminium, définit une première surface intérieure définissant en partie au moins une cavité. L'élément de couverture, qui est également en aluminium, définit une deuxième surface intérieure définissant, elle aussi, en partie au moins cette même cavité. L'élément de couverture comprend un orifice d'entrée de couverture de gaz porteur, un orifice d'entrée de couverture de source de liquide, et un orifice de sortie de couverture de source allant d'une première surface extérieure à la deuxième surface intérieure en passant par l'élément de couverture. L'élément de transition, qui est en acier inoxydable, comporte une surface extérieure de transition et une surface intérieure de transition. La surface intérieure de transition, qui est garnie d'aluminium, est soudée à la surface extérieure de transition.
Designated States: JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)