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1. (WO2004010164) CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/010164    International Application No.:    PCT/EP2003/007758
Publication Date: 29.01.2004 International Filing Date: 17.07.2003
IPC:
G02B 17/08 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
EPPLE, Alexander [DE/DE]; (DE) (For US Only).
DODOC, Aurelian [RO/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: EPPLE, Alexander; (DE).
DODOC, Aurelian; (DE)
Agent: RUFF, WILHELM, BEIER, DAUSTER & PARTNER; Kronenstrasse 30, 70174 Stuttgart (DE)
Priority Data:
60/396,552 18.07.2002 US
Title (EN) CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE
(FR) OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE
Abstract: front page image
(EN)A catadioptric projection objective which images a pattern arranged in an object plane of the projection objective into the image plane of the projection objective whilst generating a real intermediate image has a catadioptric objective part having at least one concave mirror and a beam deflecting device and also a dioptric objective part. The imaging system has a system diaphragm having a variable diaphragm diameter for variably limiting the cross section of the radiation passing through the projection objective. This system diaphragm is arranged in the catadioptric objective part, preferably in direct proximity to the concave mirror. The invention enables a projection objective with a simple construction.
(FR)Objectif de projection catadioptrique qui produit une image d'un motif disposé sur un plan d'objet de l'objectif de projection sur le plan d'image de l'objectif de projection, tout en produisant une image intermédiaire réelle. Ledit objectif possède une partie catadioptrique ayant au moins un miroir concave et un dispositif de déflexion des faisceaux, ainsi qu'une partie dioptrique. Ledit système d'imagerie possède un diamètre de diaphragme variable destiné à limiter de manière variée la section transversale du rayonnement passant à travers l'objectif de projection. Ce diaphragme de système est disposé dans la partie catadioptrique, de préférence à proximité directe du miroir concave. La présente invention permet d'obtenir un objectif de projection à structure simple.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)