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1. (WO2004008255) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING CRITICAL DIMENSIONS WITH A PARTICLE BEAM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/008255    International Application No.:    PCT/US2003/021690
Publication Date: 22.01.2004 International Filing Date: 11.07.2003
Chapter 2 Demand Filed:    11.02.2004    
IPC:
H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A, Santa Clara, CA 95052 (US) (For All Designated States Except US).
APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD [IL/IL]; 8 Oppenheimer Street, 76236 Rehovot (IL) (For All Designated States Except US).
SENDER, Benzion [IL/IL]; (IL) (For US Only).
DROR, Ophir [IL/IL]; (IL) (For US Only).
TAM, Aviram [IL/IL]; (IL) (For US Only).
MENADEVA, Ovadya [IL/IL]; (IL) (For US Only).
KRIS, Roman [IL/IL]; (IL) (For US Only)
Inventors: SENDER, Benzion; (IL).
DROR, Ophir; (IL).
TAM, Aviram; (IL).
MENADEVA, Ovadya; (IL).
KRIS, Roman; (IL)
Agent: FAHMI, Tarek; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP, 12400 Wilshire Boulevard, Seventh Floor, Los Angeles, CA 90025 (US)
Priority Data:
60/394,864 11.07.2002 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING CRITICAL DIMENSIONS WITH A PARTICLE BEAM
(FR) SYSTEME ET PROCEDE DE DETERMINATION D'UNE FORME EN COUPE D'UN ELEMENT STRUCTUREL POSSEDANT UNE COUPE SUBMICRONIQUE
Abstract: front page image
(EN)A method and system for determining a cross sectional feature of a structural element having a sub-micron cross section, the cross section is defined by an intermediate section that is located between a first and a second traverse sections. The method includes: (a) determining a first traverse section cross sectional feature in response to one or more scans of the structural element with an electron beam that is tilted at one or more corresponding tilt angle, such as to illuminate at least the top section and a first transverse section; (b) selecting, in response to a first parameter, whether to (i) determine a second traverse section cross sectional feature in response to the first traverse cross sectional feature, or (ii) to determine the second traverse section cross sectional feature in response to one or more scans of the structural element with an electron beam that is tilted at one or more corresponding tilt angle, such as to illuminate at least the top section and the second transverse section; and (c) determining the second traverse section cross sectional feature in response to the selection.
(FR)La présente invention concerne un procédé et un système de détermination de caractéristique d'une forme en coupe d'un élément structurel possédant une coupe submicronique, cette coupe étant définie par une section intermédiaire située entre une première et une seconde coupe. Ce procédé comprend: (a) la détermination d'une première forme en coupe d'une coupe en réponse à un ou plusieurs balayages de l'élément structurel avec un faisceau d'électrons incliné à un ou plusieurs angles correspondants, de façon à illuminer au moins la section supérieure et une première coupe, (b) la sélection, en réponse à un premier paramètre, en vue de déterminer (i) une seconde forme en coupe de coupe en réponse à la première forme en coupe de coupe, ou de déterminer (ii) la seconde forme en coupe de coupe en réponse à un ou plusieurs balayages de l'élément structurel avec un faisceau d'électrons incliné à un ou plusieurs angles correspondants, de façon à illuminer au moins la section supérieure et la seconde coupe et, (c) la détermination de la seconde forme en coupe de coupe en réponse à la sélection.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)