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1. (WO2004008111) INSPECTION SYSTEM WITH MULTIPLE ILLUMINATION SOURCES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/008111    International Application No.:    PCT/US2003/022208
Publication Date: 22.01.2004 International Filing Date: 17.07.2003
IPC:
G01N 21/88 (2006.01), G01N 21/95 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION [US/US]; One Technology Drive, Milpitas, CA 95035 (US)
Inventors: LANGE, Steven, R.; (US)
Agent: LEE, Phillip, P.; Beyer Weaver & Thomas LLP, P.O. Box 778, Berkeley, CA 94704-0778 (US)
Priority Data:
60/396,709 17.07.2002 US
10/268,340 09.10.2002 US
Title (EN) INSPECTION SYSTEM WITH MULTIPLE ILLUMINATION SOURCES
(FR) SYSTEME D'INSPECTION COMPORTANT DE MULTIPLES SOURCES D'ECLAIREMENT
Abstract: front page image
(EN)The present invention pertains to techniques for increasing the available illumination light, increasing the resolution, and optimizing the spectrum of optical inspection systems (100). These techniques involve combining the light beams (116) from two or more separate illumination sources (104, 114). In one embodiment, this performed by utilizing two separate illumination sources (104, 114 )one of the illumination sources compensates the other illumination source in the wavelength range where illumination light intensity is low. Specifically, this can be performed by utilizing a broadband illumination source (114) and a narrowband illumination source (104) combined with dichroic beamsplitters (106).
(FR)L'invention concerne des techniques permettant d'accroître la lumière d'éclairement disponible et la résolution, et d'optimiser le spectre de systèmes d'inspection (100) optique. Ces techniques comprennent la combinaison de faisceaux lumineux (116) provenant de deux ou davantage de sources d'éclairement (104, 114) séparées. Une forme de réalisation utilise deux sources d'éclairement (104, 114 ) séparées, l'une compensant l'autre dans la plage de longueurs d'ondes où l'intensité d'éclairement est faible. Spécifiquement, on peut utiliser une source d'éclairement (114) à large bande et une source d'éclairement (104) à bande étroite en combinaison avec des séparateurs de faisceau (106) dichroïques.
Designated States: JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)