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1. (WO2004007191) TRANSPARENT LAMINATED FILM HAVING BARRIER PROPERTY AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/007191    International Application No.:    PCT/JP2003/007853
Publication Date: 22.01.2004 International Filing Date: 20.06.2003
Chapter 2 Demand Filed:    21.11.2003    
IPC:
C23C 14/06 (2006.01)
Applicants: KUREHA CHEMICAL INDUSTRY COMPANY, LIMITED [JP/JP]; 9-11, Nihonbashi Horidome-Cho 1-Chome, Chuo-Ku, Tokyo 103-8552 (JP) (For All Designated States Except US).
HIDAKA, Tomoyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TERASHIMA, Hisaaki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
AKATSU, Masamichi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HIDAKA, Tomoyuki; (JP).
TERASHIMA, Hisaaki; (JP).
AKATSU, Masamichi; (JP)
Agent: ENDO, Yukio; TOKYO INTERNATIONAL PATENT FIRM, 2nd Floor, Miyata Building, 17-16, Nishi-Shimbashi 1-Chome, Minato-Ku, Tokyo 105-0003 (JP)
Priority Data:
2002-204608 12.07.2002 JP
Title (EN) TRANSPARENT LAMINATED FILM HAVING BARRIER PROPERTY AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
(FR) FEUILLE MINCE STRATIFIEE TRANSPARENTE PRESENTANT UNE PROPRIETE BARRIERE, ET SON PROCEDE DE PRODUCTION
(JA) バリア性透明積層フィルムおよびその製造方法
Abstract: front page image
(EN)A transparent laminated film having barrier property which comprises a transparent resin film substrate and a silicon nitride film formed thereon by the sputtering of a silicon simple substance target in a nitrogen containing atmosphere, and has a steam permeability of 0.05 g/m2/day or less and a transmissivity for a parallel light beam of 80 % or more. The laminated film combines good transparency and good barrier property for steam and can be suitably used for various packaging and sealing materials and as a substrate for an electronic device.
(FR)L'invention concerne une feuille mince stratifiée transparente présentant une propriété barrière, qui comprend un support film en résine transparent, sur lequel un film en nitrure de silicium est formé par vaporisation d'une cible en silicium constituée d'une substance simple, dans une atmosphère azotée; et présente une perméabilité à la vapeur d'au plus 0,05 g/m2/jour, et une transmissivité pour un faisceau optique parallèle d'au moins 80 %. La feuille mince stratifiée associe une bonne transparence à une bonne propriété barrière pour la vapeur, et peut être utilisée de manière appropriée pour divers matériaux d'emballage ou d'étanchéité, ou comme substrat pour un dispositif électronique.
(JA)透明性と水蒸気バリア性を兼ね備え、各種包装ないし封止材料、あるいは電子機器用基板として適した積層フィルムを得る。すなわち、透明樹脂フィルム基板上に、ケイ素単体ターゲットの窒素含有雰囲気中スパッタリングにより、窒化ケイ素膜を形成して、水蒸気透過度が0.05g/m2/日以下且つ平行光線透過率が80%以上であるバリア性透明積層フィルムを形成する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)