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1. (WO2004007144) NANOPOSITIONER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/007144    International Application No.:    PCT/RU2003/000291
Publication Date: 22.01.2004 International Filing Date: 03.07.2003
IPC:
B23Q 1/34 (2006.01), B23Q 1/62 (2006.01)
Applicants: RAKHOVSKI, Vadim Israilovich [RU/RU]; (RU)
Inventors: RAKHOVSKI, Vadim Israilovich; (RU)
Priority Data:
2002118561 11.07.2002 RU
Title (EN) NANOPOSITIONER
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT NANOMETRIQUE
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to accurate positioning devices which make it possible to displace an object within a nanometric range. The inventive device comprises a fixed base element (BE) provided with accurate and rough positioning steps which are arranged thereon in such a way that they are reciprocatingly movable. The rough positioning step is cinematically connected to the BE and to the accurate positioning step in such a way that they are synchronously movable with respect to the BE. The kinetic connection of said steps is embodied in such a way that the accurate positioning step is autonomously movable with respect to the rough positioning step. Said steps are disposed in such a way that they are autonomously movable with respect to the BE and with respect to each other along two reference axes. The rough positioning step is embodied in a form of a rigid supporting plate, the accurate positioning step being embodied in the form of a rectangular frame which is rigidly fixed to said plate. A mobile mounting element is arranged inside said frame in such a way that it is movable and/or fixable in a specified position by means of nanometric positioning elements which are arranged on each side of the frame.
(FR)L'invention appartient au domaine des dispositifs de positionnement de précision qui permettent une gamme nanométrique de déplacements de l'objet. Le dispositif comprend un élément de base immobile (EB) sur lesquels sont montés des étages de positionnement grossier et fin de l'objet, lesdits étages se déplaçant en va-et-vient. L'étage de positionnement grossier est relié cinématiquement avec l'EB et l'étage de positionnement fin, avec possibilité de déplacement synchrone des deux étages par rapport à l'EB. La liaison cinématique de ces étages s'effectue avec une possibilité de déplacement autonome de l'étage de positionnement fin par rapport à l'étage de positionnement grossier. Les deux étages sont installés avec une possibilité de déplacement par rapport à l'EB et l'un par rapport à l'autre sur deux coordonnées. L'étage de positionnement grossier se présente comme une plaque de support rigide, et l'étage de positionnement fin est un cadre rectangulaire fixé à demeure sur ladite plaque de support. A l'intérieur du cadre se trouve un élément de montage mobile qui peut se déplacer et/ou se fixer dans la position voulue grâce à des éléments de positionnement de gamme nanométrique, montés sur chaque côté du cadre.
Designated States: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Publication Language: Russian (RU)
Filing Language: Russian (RU)