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1. (WO2004006431) SAW FILTER DEVICE AND METHOD EMPLOYING NORMAL TEMPERATURE BONDING FOR PRODUCING DESIRABLE FILTER PRODUCTION AND PERFORMANCE CHARACTERISTICS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/006431    International Application No.:    PCT/US2003/018143
Publication Date: 15.01.2004 International Filing Date: 10.06.2003
Chapter 2 Demand Filed:    03.02.2004    
IPC:
H03H 9/02 (2006.01)
Applicants: SAWTEK, INC. [US/US]; P.O. Box 609501, Orlando, FL 32860-9501 (US)
Inventors: ABBOTT, Benjamin; (US).
CHOCOLA, Jack; (US).
MALOCHA, Svetlana; (US).
MONETTI, Gary; (US)
Agent: NAPOLITANO, Carl; Allen, Dyer, Doppelt, Milbrath & Gilchrist, P.A., 255 South Orange Ave., Suite 1401, Orlando, FL 32801 (US)
Priority Data:
60/393,527 03.07.2002 US
Title (EN) SAW FILTER DEVICE AND METHOD EMPLOYING NORMAL TEMPERATURE BONDING FOR PRODUCING DESIRABLE FILTER PRODUCTION AND PERFORMANCE CHARACTERISTICS
(FR) FILTRE A ONDES ACOUSTIQUES DE SURFACE ET PROCEDE DE FIXATION A TEMPERATURE NORMALE PERMETTANT DE PRODUIRE DES FILTRES PRESENTANT DES PROPRIETES DESIREES
Abstract: front page image
(EN)A SAW filter (10) includes a piezoelectric substrate (16) of Lithium Niobate or optionally Lithium Tantalate having a thickness of at least twice an acoustic wavelength. The piezoelectric substrate (16) is bonded to a surrogate substrate (18) of a silicon material. The surrogate substrate (18) is characterized by a resistivity of at least 100 ohm-cm and an expansion coefficient compatible with the piezoelectric substrate (16). A catalytic bonding film (20) between the piezoelectric substrate (16) and the surrogate substrate (18) is formed from a first catalytic bonding film deposited onto a surface of the piezoelectric substrate (16) and a second catalytic bonding film deposited onto a surface of the surrogate substrate (18). The piezoelectric substrate (16) is bonded to the surrogate substrate (18) through a compression force sufficient for providing a bonding at a normal temperature.
(FR)L'invention concerne un filtre à ondes acoustiques de surface (10) comprenant un substrat piézoélectrique (16) à base de niobate de lithium ou éventuellement de tantalate de lithium ayant une épaisseur égale à au moins deux fois une longueur d'onde acoustique. Le substrat piézoélectrique (16) est fixé sur un substrat auxiliaire (18) à base de silicium. Le substrat auxiliaire (18) se caractérise par une résistivité d'au moins 100 ohm-cm et un coefficient de dilatation compatible avec le substrat piézoélectrique (16). Une pellicule de fixation catalytique (20) située entre le substrat piézoélectrique (16) et le substrat auxiliaire (18) est formée à partir d'une première pellicule de fixation catalytique déposée sur une surface du substrat piézoélectrique (16) et d'une seconde pellicule de fixation catalytique déposée sur une surface du substrat auxiliaire (18). Le substrat piézoélectrique (16) est fixé sur le substrat auxiliaire (18) au moyen d'une force de compression suffisante pour obtenir la fixation du substrat à une température normale.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)