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Pub. No.:    WO/2004/006313    International Application No.:    PCT/JP2003/008421
Publication Date: 15.01.2004 International Filing Date: 02.07.2003
Chapter 2 Demand Filed:    04.02.2004    
C23C 16/44 (2006.01)
Applicants: KABUSHIKI KAISHA WATANABE SHOKO [JP/JP]; 2-16, Nihonbashi-Muromachi 4-chome, Chuo-ku, Tokyo 103-0022 (JP) (For All Designated States Except US).
SUGINO, Takashi [JP/JP]; (JP).
KUSUHARA, Masaki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
UMEDA, Masaru [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SUGINO, Takashi; (JP).
KUSUHARA, Masaki; (JP).
UMEDA, Masaru; (JP)
Agent: FUKUMORI, Hisao; 2F, Fuji Building, 5-11, Kudanminami 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 102-0074 (JP)
Priority Data:
2002-196067 04.07.2002 JP
(JA) 成膜装置
Abstract: front page image
(EN)An apparatus for forming film which has, provided downstream from a reaction chamber, a cooling section for liquefying an unreacted gas and the like for recovery, a section for holding a liquefied material provided downstream from the cooling section, and a by-pass line for continuously carrying out a film forming operation, wherein the cooling section is made of a metal pipe, has a spiral portion for enhancing cooling efficiency, and is manufactured in an easily removable fashion for the treatment of a recovered material. The apparatus can be employed for synthesizing a thin film of good quality with good efficiency using a boron trichloride gas or the like as a raw material, without the adverse effect resulting from the interference by the unreacted gas and the like with the normal operation of an exhausting system and the like.
(FR)L'invention concerne un appareil de formage d'un film, comprenant une section aval, prévue en aval d'une chambre de réaction, une section de réfrigération, destinée à la liquéfaction de gaz n'ayant pas réagi ou analogue, en vue de leur récupération, une section de maintien d'un produit à l'état liquéfié, prévue en aval de la section de réfrigération, et un conduit de dérivation, permettant d'effectuer en continu une opération de formage de film. La section de réfrigération est constituée par un tube métallique et présente une portion en spirale afin d'accroître le rendement du refroidissement, et est fabriquée suivant un mode facilement amovible pour le traitement d'un produit récupéré. L'appareil peut être employé pour la synthèse d'un film mince d'excellente qualité, avec un bon rendement, en utilisant un gaz de trichlorure de bore, ou analogue, comme matière première, sans qu'il se présente d'effets nuisibles provenant d'interférences dues aux gaz n'ayant pas réagi ou analogue, conformément au fonctionnement normal d'un système de dégazage ou analogue.
(JA) 三塩化ホウ素ガス等を原料ガスとして薄膜の合成を行う場合、未反応ガスなどが排気系などの正常動作を阻害し、良質な薄膜の合成が効率よくできない。このような問題を排除し、再現性良く薄膜合成ができる成膜装置を提供する。 成膜装置の反応室の下流側に冷却部を設け、未反応ガスなどを液化させて回収する。冷却部は金属管で作製し、冷却効率を上げるため、らせん部分を設け、その下流側に被化した物質を溜める領域も設けている。連統的に成膜が行えるようにバイパスラインが設置されている。また、回収物質の処理のため、冷却部が容易に脱着できるように作製されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)