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1. WO2004006295 - SPRING LOADED BI-STABLE MEMS SWITCH

Publication Number WO/2004/006295
Publication Date 15.01.2004
International Application No. PCT/US2003/014713
International Filing Date 09.05.2003
IPC
H01H 1/00 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
1Contacts
H01H 50/00 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
50Details of electromagnetic relays
CPC
H01H 1/0036
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
1Contacts
0036Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS] ;
H01H 2001/0042
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
1Contacts
0036Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS] ;
0042Bistable switches, i.e. having two stable positions requiring only actuating energy for switching between them, e.g. with snap membrane or by permanent magnet
H01H 2057/006
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
57Electrostrictive relays; Piezo-electric relays
006Micromechanical piezoelectric relay
H01H 50/005
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
50Details of electromagnetic relays
005using micromechanics
Applicants
  • SUPERCONDUCTOR TECHNOLOGIES, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • PROPHET, Eric, M. [US]/[US] (UsOnly)
Inventors
  • PROPHET, Eric, M.
Agents
  • MURPHY, David, B.
Priority Data
10/159,97729.05.2002US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) SPRING LOADED BI-STABLE MEMS SWITCH
(FR) COMMUTATEUR DE MICROSYSTEME ELECTROMECANIQUE BISTABLE A RESSORT
Abstract
(EN)
A MEMS switch assembly comprising a substrate (110) and a resilient switching member (106) is provided. The resilient switching member comprises a transverse torsion member (126) having a flexible portion, and a leaf spring and cantilever (128) that extend from the flexible portion of the torsion member.
(FR)
L'invention concerne un ensemble commutateur de microsystème électromécanique (MEMS) comprenant un substrat et un élément de commutation résilient. Ledit élément de commutation résilient comprend un élément de torsion transversal doté d'une partie flexible, un ressort à lames et un dispositif en porte-à-faux qui s'étend à partir de la partie flexible de l'élément de torsion. L'ensemble commutateur comprend également un premier élément d'ancrage permettant de monter l'élément de torsion sur une structure stable, et un second élément d'ancrage permettant de monter le ressort à lames sur ladite structure stable. De cette manière, le ressort à lames présente une partie flexible entre les premier et second ancrages pouvant être alternativement courbés dans des sens opposés afin de dévier l'extrémité du dispositif en porte-à-faux dans les sens opposés respectifs. Le ressort à lames peut présenter une première géométrie stable (par exemple, une géométrie convexe) lorsqu'il est courbé dans l'un des sens opposés, et une seconde géométrie stable (par exemple, une géométrie concave) lorsqu'il est courbé dans l'autre des sens opposés. En conséquence, le commutateur peut être commuté entre deux états stables à l'aide d'une force de rappel et peut conserver ces deux états stables sans dépense d'énergie ultérieure. Le dispositif en porte-à-faux peut être dévié sur une plus grande distance que celle du ressort à lames, par exemple, plus de deux fois plus grande. Dans ce cas, la géométrie unique de l'élément de commutation agit comme un amplificateur mécanique et permet le déplacement de l'extrémité du dispositif en porte-à-faux sur une grande distance, tout en conservant des dimensions d'actionnement raisonnables. Cet élément de commutation peut être conçu afin de mettre en oeuvre l'une quelconque d'une variété de méthodologies de commutation. L'ensemble de commutation peut, par exemple, être agencé sous forme de commutateur bidirectionnel monopolaire (SPDT) auquel cas, le dispositif en porte-à-faux peut établir un contact électrique entre une borne commune et l'une des deux bornes sélectionnées, ou sous forme d'un commutateur unidirectionnel monopolaire (SPST) auquel cas, le dispositif en porte-à-faux couple et découple alternativement électriquement deux bornes.
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