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1. (WO2004006140) METHOD AND APPARATUS FOR AUTOMATIC SENSOR INSTALLATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/006140    International Application No.:    PCT/US2003/019041
Publication Date: 15.01.2004 International Filing Date: 18.06.2003
Chapter 2 Demand Filed:    27.01.2004    
IPC:
G05B 19/418 (2006.01), G06F 3/00 (2006.01), G06F 17/50 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; TBS Broadcast Center, 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107 (JP) (For All Designated States Except US).
FUNK, Merritt [US/US]; (US) (For US Only).
HARTMANN, Steven [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: FUNK, Merritt; (US).
HARTMANN, Steven; (US)
Agent: LAZAR, Dale, S.; Pillsbury Winthrop LLP, P.O. Box 10500, McLean, VA 22102 (US)
Priority Data:
60/393,104 03.07.2002 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR AUTOMATIC SENSOR INSTALLATION
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF PERMETTANT D'INSTALLER AUTOMATIQUEMENT DES CAPTEURS
Abstract: front page image
(EN)Graphical User Interfaces (GUIs) are presented for configuring and setting-up sensors for monitoring tool and process performance in a semiconductor processing system. The semiconductor processing system includes a number of processing tools, a number of processing modules (chambers), and a number of sensors. The graphical display is organized so that all significant parameters are clearly and logically displayed so that the user is able to perform the desired configuration and setup tasks with as little input as possible. The GUI is web-based and is viewable by a user using a web browser.
(FR)L'invention concerne des interfaces graphiques (GUI) servant à configurer et à régler des capteurs pour surveiller les performances d'un outil et d'un processus dans un système de traitement de semi-conducteurs. Le système de traitement de semi-conducteurs comprend des outils de traitement, des modules de traitement (chambres) et des capteurs. L'affichage graphique est conçu pour que tous les paramètres significatifs soient affichés de façon claire et logique, afin que l'utilisateur puisse réaliser les tâches de configuration et de réglage désirées en entrant un minimum de données. L'interface graphique est installée en réseau et peut être consultée par un utilisateur à l'aide d'un navigateur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)