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1. (WO2004006021) OPTICAL DEVICE COMPRISING AN LIGHT SOURCE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/006021    International Application No.:    PCT/EP2003/006397
Publication Date: 15.01.2004 International Filing Date: 18.06.2003
IPC:
G02B 19/00 (2006.01), G02B 27/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Str. 22, 73446 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
BADER, Dieter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
RENG, Norbert [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WANGLER, Johannes [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BADER, Dieter; (DE).
RENG, Norbert; (DE).
WANGLER, Johannes; (DE)
Agent: OSTERTAG, Ulrich; Eibenweg 10, 70597 Stuttgart (DE)
Priority Data:
102 30 652.4 08.07.2002 DE
Title (DE) OPTISCHE VORRICHTUNG MIT EINER BELEUCHTUNGSQUELLE
(EN) OPTICAL DEVICE COMPRISING AN LIGHT SOURCE
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE COMPORTANT UNE SOURCE D'ECLAIRAGE
Abstract: front page image
(DE)Eine optische Vorrichtung dient zur Beleuchtung eines Objektes, das mit Hilfe einer entsprechenden Optik abgebildet werden soll. Sie weist eine nahe oder in einer Pupillenebene einer Beleuchtungsoptik angeordnete Beleuchtungslichtquelle (210) auf, welche ein Beleuchtungslichtbündel erzeugt. Die Beleuchtungsoptik ist zwischen der Beleuchtungslichtquelle (210) und dem Objekt angeordnet. Das in einem Beleuchtungszyklus eingesetzte Beleuchtungslichtbündel ist matrixartig zweidimensional aus einer Mehrzahl von Einzelbündeln zusammengesetzt. Ferner ist eine Steuereinrichtung (220) zur selektiven Erzeugung (216, 217) der Einzelbündel vorgesehen. Die Anwahl erfolgt dabei derart, dass die Form des Beleuchtungslichtbündels über die jeweils erzeugten Einzelbündel vorgebbar ist. Dies ermöglicht die rasche und variable Einstellung von an die jeweiligen Abbildungsanforderungen angepassten Beleuchtungssettings.
(EN)The invention relates to an optical device for illuminating an object of which an image should be formed with the aid of corresponding optics. The inventive device comprises a light source (210), which is arranged in the vicinity of or in an pupillary plane of illuminating optics and which produces an illuminating light beam. The illuminating optics are placed between the light source (210) and the object. The illuminating light beam used during an illumination cycle is composed of a number individual beams in two dimensions and in a matrix-like manner. The inventive device also comprises a control device (220) for selectively producing (216, 217) the individual beams. The selection ensues in such a manner that the shape of the illuminating light beam can be predetermined by the respectively produced individual beams. This enables the rapid and variable adjustment of illumination settings adapted to the respective imaging requirements.
(FR)L'invention concerne un dispositif optique servant à l'éclairage d'un objet devant être représenté à l'aide d'un objectif correspondant. Le dispositif optique selon l'invention comporte une source de lumière d'éclairage (210) disposée à proximité ou à l'intérieur d'un plan pupillaire d'un objectif d'éclairage, produisant un faisceau de lumière d'éclairage. Ledit objectif d'éclairage est disposé entre la source de lumière d'éclairage (210) et l'objet. Le faisceau de lumière d'éclairage employé dans un cycle d'éclairage est composé de façon bidimensionnelle d'une pluralité de faisceaux individuels à la manière d'une matrice. Le dispositif selon l'invention comporte également un système de commande (220) destiné à produire sélectivement (216, 217) les faisceaux individuels. La sélection est effectuée de manière que la forme du faisceau de lumière d'éclairage puisse être prédéfinie par l'intermédiaire des faisceaux individuels respectivement produits. Ainsi, il est possible de régler de façon rapide et variable les paramètres d'éclairage adaptés aux critères de représentation respectifs.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)