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1. (WO2004003994) SUBSTRATE SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/003994    International Application No.:    PCT/JP2002/006631
Publication Date: 08.01.2004 International Filing Date: 01.07.2002
IPC:
B25J 9/16 (2006.01), B25J 19/02 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: HIRATA CORPORATION [JP/JP]; 9-20, Togoshi 3-Chome, Shinagawa-Ku, Tokyo 142-0041 (JP) (For All Designated States Except US).
MORI, Shoichi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MORI, Shoichi; (JP)
Agent: INOUE, Motohiro; 1-2-805, Saiwai 2-Chome, Ichikawa-Shi, Chiba 272-0123 (JP)
Priority Data:
Title (EN) SUBSTRATE SENSOR
(FR) DETECTEUR DE SUBSTRAT
(JA) 基板検出装置
Abstract: front page image
(EN)The position of each of a plurality of substrates contained in the cassette is taught to a substrate transfer robot (10). The substrate carrying robot (10) takes and puts a cassette one by one out of/into a cassette containing a plurality of substrates according to the teaching. The cassette is placed on a cassette table (3). A substrate sensor for determining the position of each of the substrates contained in the cassette in advance includes a jig (30) of the identical shape as the cassette and sensing means (40) for determining the position of the uppermost substrate and the position of the lowermost substrate which are virtually contained in the jig (30) placed on the cassette table (3). As a result, it is possible to determine the positions of all the cassettes contained in the cassette. This substrate sensor makes it possible to teach a robot the positions of all the substrates contained in the cassette to the robot seasily and accurately in a short time.
(FR)La position de chaque pluralité d'une pluralité de substrats contenus dans la cassette est communiquée à un robot (10) de transfert de substrat. Le robot (10) transportant le substrat prélève et place une par une des cassettes dans une cassette contenant une pluralité de substrats. La cassette est placée sur une table (3). Un détecteur de substrat permettant de déterminer à l'avance la position de chacun des substrats contenus dans la cassette comprend un montage (30) de forme identique à celui de la cassette et un organe de détection (40) permettant de déterminer la position du substrat supérieur et la position du substrat inférieur qui sont virtuellement contenus dans le montage (30) placé sur la table (3). En conséquence, il est possible de déterminer les positions de toutes les cassettes contenues dans la cassette. Ce détecteur de substrats permet de communiquer facilement et précisément, et sur un bref délai, à un robot les positions de tous les substrats contenus dans la cassette du robot
(JA)not available
Designated States: JP, US.
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)