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1. (WO2004003969) METHOD AND SYSTEM FOR PREDICTING PROCESS PERFORMANCE USING MATERIAL PROCESSING TOOL AND SENSOR DATA
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/003969    International Application No.:    PCT/US2003/016245
Publication Date: 08.01.2004 International Filing Date: 27.06.2003
Chapter 2 Demand Filed:    24.11.2003    
IPC:
G05B 19/418 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Mianto-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (For All Designated States Except US).
LAM, Hieu, A. [US/US]; (US) (For US Only).
YUE, Hongyu [US/US]; (US) (For US Only).
SHRINER, John [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: LAM, Hieu, A.; (US).
YUE, Hongyu; (US).
SHRINER, John; (US)
Agent: CASEY, Michael, R.; OBLON, SPIVAK, McCLELLAND, MAIER & NEUSTADT, P.C., 1940 Duke Street, Alexandria, VA 22314 (US)
Priority Data:
60/391,965 28.06.2002 US
Title (EN) METHOD AND SYSTEM FOR PREDICTING PROCESS PERFORMANCE USING MATERIAL PROCESSING TOOL AND SENSOR DATA
(FR) PROCEDE ET SYSTEME DE PREDICTION DE PERFORMANCE DU PROCESSUS A L'AIDE D'UN OUTIL DE TRAITEMENT DE MATERIAUX ET DE DONNEES CAPTEUR
Abstract: front page image
(EN)A material processing system including a process tool and a process performance prediction system. The performance prediction system includes sensors coupled to the tool to measure tool data and a controller coupled to the sensors to receive tool data, where the controller is configured to predict the process performance for the tool using the tool data. A method for detecting a fault in a material processing system using a process performance prediction model is also provided. The method includes preparing the tool, initiating a process in the tool, and recording tool data to form to a tool data matrix. The method also includes performing a matrix multiplication of the tool data matrix and a correlation matrix to form predicted process performance data, where the correlation matrix includes the performance prediction model, comparing the predicted data with target data, and determining a fault condition of the processing system from the comparing step.
(FR)La présente invention concerne un système de traitement de matériaux comprenant un outil de traitement et un système de prédiction de performance du processus. Le système de prédiction de performance du processus comprend des capteurs couplés à l'outil, destinés à mesurer des données d'outil et un contrôleur couplé aux capteurs, destiné à recevoir les données d'outil, le contrôleur étant conçu pour prédire la performance du processus pour l'outil à l'aide des données d'outil. L'invention concerne également un procédé de détection d'une panne dans un système de traitement de matériaux à l'aide d'un modèle de prédiction de performance du processus. Ledit procédé consiste à préparer l'outil, à lancer un processus dans l'outil et à enregistrer des données d'outil afin de former une matrice de données d'outil. Ledit procédé consiste enfin à mettre en oeuvre une multiplication matricielle de la matrice de données d'outil et d'une matrice de corrélation afin de former des données prédites de performance du processus, la matrice de corrélation comprenant le modèle de prédiction de performance, à comparer les données prédites avec des données cibles et à déterminer une condition de panne du système de traitement à partir de l'étape de comparaison.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)