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1. (WO2004003601) HIGH TRANSMISSION OPTICAL INSPECTION TOOLS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/003601    International Application No.:    PCT/US2003/020472
Publication Date: 08.01.2004 International Filing Date: 27.06.2003
IPC:
G02B 21/00 (2006.01), G02B 21/16 (2006.01), G02B 21/24 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION [US/US]; One Technology Drive, Milpitas, CA 95035 (US)
Inventors: SOLARZ, Richard, William; (US)
Agent: LEE, Phillip, P.; Beyer Weaver & Thomas, LLP, P.O. Box 70250, Oakland, CA 94612-0250 (US)
Priority Data:
10/187,005 28.06.2002 US
Title (EN) HIGH TRANSMISSION OPTICAL INSPECTION TOOLS
(FR) INSTRUMENTS D'INSPECTION OPTIQUE A EMISSION ELEVEE
Abstract: front page image
(EN)Techniques for increasing the percentage of light that is transmitted through optical inspection systems (100) that operate in or near the ultraviolet and deep ultraviolet electromagnetic spectrums are described. Along with increasing the amount of light transmission, the techniques of the present invention also provide additional advantages such as reduction of ripple, increased ability to match inspection systems, and improving manufacturability. The techniques of the present invention involve using an auto-focus light source (116, 118, 128) near the operational range of the inspection system and slightly raising the lower end of the operational range.
(FR)Cette invention a trait à des techniques permettant d'accroître le pourcentage de la lumière émise par des systèmes d'inspection optique opérant dans les spectres électromagnétiques dans l'ultraviolet ou l'ultraviolet proche et l'ultraviolet profond. En sus du fait d'accroître la quantité de lumière émise, ces techniques ont d'autres avantages, notamment la réduction des ondulations, une capacité accrue à confronter les systèmes d'inspection et l'amélioration de l'aptitude à la fabrication. Les techniques selon l'invention font appel à l'utilisation d'une source lumineuse auto-focalisante près de la plage opérationnelle du système d'inspection et relèvent légèrement l'extrémité inférieure de la plage opérationnelle.
Designated States: JP.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)