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1. (WO2004003519) INFRARED FOCUSING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/003519    International Application No.:    PCT/JP2003/005104
Publication Date: 08.01.2004 International Filing Date: 22.04.2003
Chapter 2 Demand Filed:    29.08.2003    
IPC:
G01Q 60/18 (2010.01), G01Q 60/22 (2010.01)
Applicants: JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY [JP/JP]; 4-1-8, Hon-cho, Kawaguchi-shi, Saitama 332-0012 (JP) (For All Designated States Except US).
KOMIYAMA, Susumu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
IKUSHIMA, Kenji [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KOMIYAMA, Susumu; (JP).
IKUSHIMA, Kenji; (JP)
Agent: HIRAYAMA, Kazuyuki; 6th Floor, Shinjukugyoen Bldg., 2-3-10, Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 160-0022 (JP)
Priority Data:
2002-188508 27.06.2002 JP
Title (EN) INFRARED FOCUSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE FOCALISATION INFRAROUGE
(JA) 赤外光集光装置
Abstract: front page image
(EN)An infrared focusing device which can concentrate with high efficiency an infrared ray having a wavelength of at least tens of microns in a fine, up-to-submicron region, pick up with high efficiency a proximity field in a fine, up-to-submicron region, and produce a scanning image, and which comprises a solid immersion lens (2) consisting of a high-refractive-index medium for coupling with high efficiency an incident light (8) or an outgoing light (9) with an antenna, a sample to be measured (6) disposed on the bottom surface (3) of the solid immmersion lens (2), an antenna (4) disposed a 1/4-of -effective-wavelength away from the bottom surface (3) and consisting of a flat dipole antenna (12) or a flat slot antenna (16) for geometrically resonating the incident light (8) on the outgoing light (9), a probe (4b) as a rodlike conductor projecting from the antenna (4) and having a pointed tip end, and a position control means as an XYZ-three-axis mechanical stage (23) for controlling the position of the probe (4b) via a cantilever (5). Efficiency is increased by coupling the incident light (8) or the outgoing light (9) with the antenna (4) on the side of a high-permittivity medium and by using an antenna that produces a geometric resonance.
(FR)L'invention concerne un dispositif de focalisation infrarouge pouvant : concentrer avec une grande efficacité un rayon infrarouge d'une longueur d'ondes d'au moins dix microns dans une zone fine pouvant atteindre l'ultramicron : capter avec une grande efficacité un champ de proximité dans une zone fine pouvant atteindre l'ultramicron, et produire une image d'exploration par balayage. Ledit dispositif comprend une lentille à immersion solide (2) comprenant un milieu à haut indice de réfraction pour coupler avec une grande efficacité une lumière incidente (8) ou une lumière sortante (9) avec une antenne, un échantillon à mesurer (6) disposé sur la surface de base (3) de la lentille à immersion solide (2), une antenne (4) disposée à une distance d'1/4 de la longueur d'ondes effective par rapport à surface de base (3) et comprenant une antenne dipôle plate (12) ou une antenne fendue plate (16) pour faire résonner de manière géométrique la lumière incidente (8) sur la lumière sortante (9), un échantillon (4b) sous forme de conducteur de type tige, en saillie de l'antenne (4) et comportant une extrémité en pointe, et un moyen de commande de position sous forme d'étage mécanique à trois axes XYZ (23) pour réguler la position de l'échantillon (4b) par l'intermédiaire d'un élément en porte-à-faux (5). L'efficacité est augmentée par couplage de la lumière incidente (8) ou de la lumière sortante (9) avec l'antenne (4) du côté d'un milieu à haute permittivité et par utilisation d'une antenne produisant une résonance géométrique.
(JA)サブミクロン以下の微細な領域に数十ミクロン以上の波長を持つ赤外光を高い効率で集中でき、サブミクロン以下の微細な領域の近接場を高い効率で取り出せ、かつ、走査像を得ることができる赤外光集光装置であり、入射光(8)または出射光(9)を高効率でアンテナに結合させる高屈折率媒質からなるソリッドイマージョンレンズ(2)と、ソリッドイマージョンレンズ(2)の底面(3)上に配設した被測定試料(6)と、この底面(3)から有効波長の1/4位かの距離を離して配設され入射光(8)または出射光(9)を幾何学的に共鳴させる平面ダイポールアンテナ(12)または平面スロットアンテナ(16)で成るアンテナ(4)と、アンテナ(4)から突出した先鋭な突端を有する棒状導電体であるプローブ(4b)と、カンチレバー(5)を介してプローブ(4b)の位置を制御するXYZ−3軸メカニカルステージ(23)の如き位置制御手段とを有する。入射光(8)または出射光(9)のアンテナ(4)との結合を高誘電率媒質側で行うようにし、幾何学的に共鳴の生ずるアンテナを使用して効率を高めた。
Designated States: US.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)