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1. (WO2004003483) MASS FLOW METER WITH CHIP-TYPE SENSORS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/003483    International Application No.:    PCT/US2003/020412
Publication Date: 08.01.2004 International Filing Date: 28.06.2003
IPC:
G01F 1/684 (2006.01), G01F 1/692 (2006.01)
Applicants: HEETRONIX [US/US]; 725 Trademark Drive, Suite #104, Reno, NV 89511 (US)
Inventors: VINCZE, Craig; (US).
GIBSON, James; (US).
PARSONS, James, D.; (US).
FEHLMAN, Thomas; (US)
Agent: KOPPEL, Richard, S.; Koppel, Jacobs, Patrick & Heybl, 555 St. Charles Drive, Suite 107, Thousand Oaks, CA 91360 (US)
Priority Data:
60/392,380 28.06.2002 US
Title (EN) MASS FLOW METER WITH CHIP-TYPE SENSORS
(FR) DEBITMETRE MASSIQUE A CAPTEURS DU TYPE PUCE
Abstract: front page image
(EN)A mass flow meter employs discrete chip-type tem­perature sensors (Ul,U2,Dl,D2) to sense a fluid flow rate. The sensor can be a semiconductor chip such as SiC or silicon, or thin film tungsten (28) on an AlN sub­strate (30). The sensors can be distributed symmetri­cally with respect to the conduit (4) through which the fluid flows, and can be connected in a four-sensor bridge circuit for accurate flow rate monitoring. An output from the mass flow meter can be used to control the fluid flow.
(FR)Un débitmètre massique utilise des capteurs de température du type puce séparés (U1, U2, D1, D2) pour mesurer un débit de fluide. Le capteur peut être une puce à semiconducteur, telle qu'une puce en silicium, en tungstène à couche mince (28) sur un substrat d'AlN (30). Les capteurs peuvent être répartis de manière symétrique par rapport au conduit (4) dans lequel le liquide circule, et peuvent être connectés dans un circuit en pont à quatre capteurs pour une surveillance précise du débit. Une sortie du débitmètre peut être utilisée pour réguler le débit.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)