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1. (WO2004003464) FREQUENCY-SCANNING INTERFEROMETER WITH NON-SPECULAR REFERENCE SURFACE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2004/003464    International Application No.:    PCT/US2003/020230
Publication Date: 08.01.2004 International Filing Date: 30.06.2003
IPC:
G01B 9/02 (2006.01)
Applicants: LIGHTGAGE, INC. [US/US]; 4040 Toneison Road, Bloomfield, NY 14469 (US)
Inventors: MARRON, Joseph, C.; (US).
FAKLIS, Dean; (US)
Agent: RYAN, Thomas, B.; Harter Secrest & Emery LLP, 1600 Bausch & Lomb Place, Rochester, NY 14604-2711 (US)
Priority Data:
60/392,810 01.07.2002 US
Title (EN) FREQUENCY-SCANNING INTERFEROMETER WITH NON-SPECULAR REFERENCE SURFACE
(FR) INTERFEROMETRE A BALAYAGE DE FREQUENCE DOTE D'UNE SURFACE DE REFERENCE NON SPECULAIRE
Abstract: front page image
(EN)A frequency-scanning interferometer (50) is modified to include a diffuse reference surface (56). An illuminating system produces an expanding measuring beam (66), portions of which reflect from a test object surface (52) and the diffuse reference surface on converging paths to an imaging system (80). Interference patterns between overlapping images of the object and reference surfaces are generated at a plurality of frequencies for measuring the object surface with respect to the reference surface.
(FR)L'invention concerne un interféromètre à balayage de fréquence, modifié pour qu'il possède une surface de référence diffuse. Un système d'éclairage produit un faisceau de mesure ouvert, dont des parties sont réfléchies par la surface d'un objet d'essai et la surface de référence diffuse sur des voies convergentes vers un système d'imagerie. Des modèles d'interférence entre les images de l'objet et les surfaces de référence, qui se chevauchent, sont générés à une pluralité de fréquences, ce qui permet de mesurer la surface de l'objet par rapport à la surface de référence.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)