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1. (WO2003079448) SELF-ADJUSTING SERIAL CIRCUIT OF THIN LAYERS AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/079448    International Application No.:    PCT/EP2003/002864
Publication Date: 25.09.2003 International Filing Date: 18.03.2003
Chapter 2 Demand Filed:    13.10.2003    
IPC:
H01L 27/142 (2006.01)
Applicants: SCHEUTEN GLASGROEP [NL/NL]; Groethofstraat 21, NL-5900 AA Venlo (NL) (For All Designated States Except US).
GEYER, Volker [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: GEYER, Volker; (DE)
Agent: JOSTARNDT, Hans-Dieter, Dr; Brüsseler Ring 51, 52074 Aachen (DE)
Priority Data:
02006162.8 19.03.2002 EP
Title (DE) SELBSTJUSTIERENDE SERIENVERSCHALTUNG VON DÜNNSCHICHTEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
(EN) SELF-ADJUSTING SERIAL CIRCUIT OF THIN LAYERS AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
(FR) CIRCUIT SERIE DE MINCES COUCHES A REGLAGE AUTOMATIQUE ET SON PROCEDE DE PRODUCTION
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine selbstjustierende Serienverschaltung von Dünnschichten und ein Verfahren zur Herstellung.Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass auf ein Sub-strat (10) elektrisch leitfähige Leiterbahnen (20) aufge-bracht werden, woraufhin mehrere Hauptdepositionsschichten (30, 40, 50) aus leitfähigen, halbleitenden oder isolierenden Materialien auf das Substrat aufgebracht werden, wobei das Aufbringen der Schichten unter unterschiedlichen Einfallswinkeln zur Oberfläche des Substrats erfolgt.
(EN)The invention relates to a self-adjusting serial circuit of thin layers and method for production thereof. The invention is characterised in that electrically conducting conductor tracks (20) are applied to a substrate (10), whereupon several main deposit layers (30, 40, 50) of conducting, semi-conducting or insulating materials are applied to the substrate. The application of the layers is carried out at various angles of incidence to the surface of the substrate.
(FR)L'invention concerne un circuit série de minces couches à réglage automatique et son procédé de production. L'invention est caractérisée en ce que des pistes électroconductives (20) sont montées sur un substrat (10). Ensuite plusieurs couches principales (30, 40, 50) sont formées par dépôt de matériaux conducteurs, semi-conducteurs ou isolants sur le substrat, ces couches étant réalisées avec différents angles d'incidence par rapport à la surface du substrats.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)