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1. (WO2003078925) SURFACE PROFILING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/078925    International Application No.:    PCT/GB2003/001067
Publication Date: 25.09.2003 International Filing Date: 13.03.2003
IPC:
G01B 9/02 (2006.01), G01B 11/02 (2006.01)
Applicants: TAYLOR HOBSON LIMITED [GB/GB]; 2 New Star Road, Leicester LE4 9JQ (GB) (For All Designated States Except US).
BANKHEAD, Andrew, Douglas [GB/GB]; (GB) (For US Only).
MCDONNELL, Ivor [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Inventors: BANKHEAD, Andrew, Douglas; (GB).
MCDONNELL, Ivor; (GB)
Agent: BERESFORD & CO; 16 High Holborn, London WC1V 6BX (GB)
Priority Data:
0206023.4 14.03.2002 GB
0227665.7 27.11.2002 GB
Title (EN) SURFACE PROFILING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE PROFILAGE DE SURFACES
Abstract: front page image
(EN)Light from a broadband source (4) is directed along a sample path (SP) towards a region of a sample surface (7) and along a reference path (RP) towards a reference surface (6) such that light reflected by the region of the sample surface and light reflected by the reference surface interfere. A mover (11) effects relative movement along a scan path between the sample surface (7) and the reference surface (6). A detector (10) senses light intensity at intervals to provide a series of intensity values representing interference fringes produced by a region of a sample surface. A data processor has a concurrent processing section (34a;340) for carrying out processing on intensity values as the intensity values are received by the receiving means during a measurement operation to produce data indicating the position of a coherence peak, and a post-processing section (34b;350) for, after completion of a measurement operation, using the data produced by the concurrent section to obtain data indicative of a height of the surface region. One of the processing sections has a correlator (44;440) for correlating intensity values with correlation function data representing a correlation function to provide correlation data to enable a position of a coherence peak to be identified. The post-processing section has a surface topography determiner (35;350) for determining a height of a sample surface region from coherence peak position data.
(FR)De la lumière émise par une source à large bande (4) est dirigée le long d'une chemin d'échantillonnage (SP) vers une région de surface d'échantillonnage (7), et le long d'un chemin de référence (RP) vers une surface de référence (6), de manière telle que la lumière réfléchie par la région de la surface d'échantillonnage et la lumière réfléchie par la surface de référence se croisent. Un dispositif de mouvement (11) effectue un mouvement relatif le long d'un chemin de balayage entre la surface d'échantillonnage (7) et la surface de référence (6). Un détecteur (10) détecte l'intensité lumineuse à certains intervalles pour fournir une série de valeurs d'intensité représentant les franges d'interférence produites par une région d'une surface d'échantillonnage. Un processeur de données possède une partie de traitement concomitant (34a; 340) destinée à effectuer le traitement des valeurs d'intensité à mesure que lesdites valeurs d'intensité sont reçues par le moyen de réception pendant une opération de mesure pour produire des données indiquant la position d'un pic de cohérence, et une partie de post-traitement (34b; 350) destinée à utiliser, une fois une opération de mesure terminée, les données produites par la partie de traitement concomitant pour obtenir des données indicatrices de la hauteur d'une région de surface. L'une des parties de traitement possède un corrélateur (44; 440) destiné à mettre en corrélation des valeurs d'intensité avec des données de fonction de corrélation représentant une fonction de corrélation pour fournir des données de corrélation permettant l'identification de la position d'un pic de cohérence. La partie de post-traitement possède un dispositif de détermination (35; 350) de topographie de surface destiné à déterminer la hauteur d'une région de surface d'échantillonnage à partir des données de position de pics de cohérence.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)