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1. (WO2003077598) SYSTEM AND METHOD FOR LAMP SPLIT ZONE CONTROL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/077598    International Application No.:    PCT/US2003/006494
Publication Date: 18.09.2003 International Filing Date: 04.03.2003
Chapter 2 Demand Filed:    03.10.2003    
IPC:
C30B 31/12 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A, Santa Clara, CA 95052 (US) (For All Designated States Except US).
JENNINGS, Dean [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: JENNINGS, Dean; (US)
Agent: BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP, 7th floor, 12400 Wilshire Boulevard, Los Angeles, CA 90025 (US).
MALLIE, Michael, J.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP, 7th floor, 12400 Wilshire Boulevard, Los Angeles, CA 90025 (US)
Priority Data:
10/092,275 04.03.2002 US
Title (EN) SYSTEM AND METHOD FOR LAMP SPLIT ZONE CONTROL
(FR) SYSTEME ET PROCEDE POUR LA COMMANDE DE LAMPES PAR DIVISION DES ZONES
Abstract: front page image
(EN)An operating voltage is supplied to first and second groups in accordance with a recipe for thermally processing a semiconductor wafer. It is then determined that the operating voltage is an undesired voltage in a range of voltages between a predetermined lower voltage and a predetermined upper voltage. Subsequently, a first voltage is applied to the first group of heating lamps and a second voltage is delivered to the second group of heating lamps. The first voltage is above the predetermined upper voltage, while the second voltage is below the predetermined lower voltage. Also, a weighted average of the first and second voltages approximates the undesired voltage. In the meantime, the operational voltage is supplied to a remainder of the array of heating lamps in accordance with the recipe, where the operational voltage is below the predetermined upper voltage.
(FR)Dans cette invention, une tension opérationnelle est fournie à un premier et à un second groupe en fonction d'une recette de traitement thermique d'une plaquette de semi-conducteur. On détermine ensuite si la tension opérationnelle est une tension non souhaitée dans une plage de tensions comprise entre une tension inférieure prédéterminée et une tension supérieure prédéterminée. Une première tension est alors appliquée au premier groupe des lampes chauffantes et une seconde tension est appliquée au second groupe des lampes chauffante. La première tension est plus élevée que la tension supérieure prédéterminée et la seconde tension est plus faible que la tension inférieure prédéterminée. En outre, une moyenne pondérée de la première et de la seconde tension avoisine la tension non souhaitée. Simultanément, la tension opérationnelle est fournie au reste du réseau des lampes chauffantes en fonction de la recette, les tension opérationnelle étant plus basse que la tension supérieure prédéterminée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)