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1. (WO2003077030) DETECTION OF POSITION AND ESTIMATION OF SURFACE SHAPE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/077030    International Application No.:    PCT/JP2003/002752
Publication Date: 18.09.2003 International Filing Date: 07.03.2003
Chapter 2 Demand Filed:    24.09.2003    
IPC:
G03F 9/00 (2006.01)
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 146-8501 (JP) (For All Designated States Except US).
MAEDA, Kohei [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MIURA, Seiya [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MAEDA, Kohei; (JP).
MIURA, Seiya; (JP)
Agent: YAMADA, Ryuichi; TOKO International Patent Office, Hasegawa Bldg. 4F, 7-7, Toranomon 3-chome, Minato-ku, Tokyo 105-0001 (JP)
Priority Data:
2002-063705 08.03.2002 JP
Title (EN) DETECTION OF POSITION AND ESTIMATION OF SURFACE SHAPE
(FR) PROCEDE DE DETECTION DE POSITION, PROCEDE D'ESTIMATION DE LA FORME D'UNE SURFACE, APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIFS L'UTILISANT
Abstract: front page image
(EN)A position detecting system including a detecting system for detecting positions, at different points on a surface of a reticle having a predetermined pattern formed thereon, with respect to a direction substantially perpendicular to the reticle surface, wherein the detecting system includes a light projecting portion for directing light from a light source to the reticle surface and a light receiving portion for receiving reflection light from the reticle surface, and wherein the angle of incidence of light from the light projecting portion, being incident on the reticle surface, is not less than 45 degrees.
(FR)Cette invention concerne un système de détection de position comprenant un système de détection conçu pour détecter des positions, au niveau de différents points sur une surface d'un réticule sur lequel est formé un motif prédéfini, par rapport à une direction sensiblement perpendiculaire à la surface du réticule, lequel système de détection comprend une unité de projection de lumière conçue pour orienter la lumière d'une source de lumière sur la surface du réticule ainsi qu'une unité de réception de lumière conçue pour recevoir la lumière réfléchie de la surface du réticule, l'angle d'incidence de la lumière provenant de l'unité de projection de lumière et heurtant la surface du réticule étant égal ou supérieur à 45 degrés.
Designated States: CN, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)