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1. (WO2003076872) SHAPE MEASURING METHOD, INTERFERENCE MEASURING DEVICE, PORDUCTION METHOD FOR PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND PORJECTIONJ ALIGNER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/076872    International Application No.:    PCT/JP2003/002842
Publication Date: 18.09.2003 International Filing Date: 11.03.2003
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-Chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (For All Designated States Except US).
NAKAYAMA, Shigeru [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NAKAYAMA, Shigeru; (JP)
Agent: FURUYA, Fumio; Dai2 Meiho Bldg. 9th Floor 19-5, Nishishinjuku 1-Chome Shinjuku-ku, Tokyo 160-0023 (JP)
Priority Data:
2002-67224 12.03.2002 JP
Title (EN) SHAPE MEASURING METHOD, INTERFERENCE MEASURING DEVICE, PORDUCTION METHOD FOR PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND PORJECTIONJ ALIGNER
(FR) PROCEDE DE MESURE DE FORME, DISPOSITIF DE MESURE D'INTERFERENCE, PROCEDE D'ELABORATION D'UN SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION ET DISPOSITIF D'ALIGNEMENT
Abstract: front page image
(EN)To acquire shape information on single-element of a surface to be detected from measurement results obtained by interference measuring using a null optical system without being affected by errors caused by a null optical system. An interference measuring method interference-measures a surface to be detected by using a null optical system comprising a Fizeau surface disposed on a non-final surface. The surface to be detected is interference-measured by using a transmitting zone plate so designed that the wave front of a transmitting m-th-order diffraction light occurring when a measuring light flux is incident is equivalent to the design shape of the surface to be detected. In addition, the Fizeau surface of the above null optical system is interference-measured from the above final surface side by using the above transmitting zone plate. Then, an arithmetic processing is performed based on respective elements of information acquired by respective interference measurements to determine shape information on single-element of the above surface to be detected.
(FR)Procédé servant à acquérir une information de forme sur un élément unique d'une surface à détecter à partir de résultats de mesure obtenus par mesure d'interférence au moyen d'un système optique zéro sans subir les inconvénients de ce système. Procédé de mesure d'interférence consistant à mesurer une surface à détecter au moyen d'un système optique zéro composé d'une surface de Fizeau située sur une surface non finale. La surface à détecter est soumise à des mesures d'interférence au moyen une plaque de zone de transmission conçue de telle sorte que le front d'ondes de la lumière de diffraction d'un ordre m-th d'émission apparaissant quand un flux lumineux de mesure est incident, est équivalent à la forme de la surface à détecter. De plus, la surface de Fizeau de ce système optique zéro est soumise à une mesure d'interférence depuis le côté de ladite surface finale au moyen de la plaque de zone de transmission. Un traitement arithmétique est ensuite effectué en fonction des éléments d'information respectifs acquis par les mesures d'interférence respectives afin de déterminer l'information de forme sur l'élément unique de la surface à détecter.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)