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1. (WO2003075042) OPTICAL MEASUREMENTS OF PATTERNED STRUCTURES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/075042    International Application No.:    PCT/IL2003/000168
Publication Date: 12.09.2003 International Filing Date: 04.03.2003
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. [IL/IL]; Weizmann Science Park, P.O.B. 266, 76100 Rehovoth (IL) (For All Designated States Except US).
BRILL, Boaz [IL/IL]; (IL) (For US Only).
GOV, Shahar [IL/IL]; (IL) (For US Only)
Inventors: BRILL, Boaz; (IL).
GOV, Shahar; (IL)
Agent: KORSHUNOV, Oleg; NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD., Weizmann Science Park, P.O.B. 266, 76100 Rehovoth (IL)
Priority Data:
148484 04.03.2002 IL
Title (EN) OPTICAL MEASUREMENTS OF PATTERNED STRUCTURES
(FR) MESURES OPTIQUES DE STRUCTURES A MOTIFS
Abstract: front page image
(EN)A method and a system for optical measuring in a structure having a pattern in the form of spaced-apart parallel elongated regions of optical properties different from that of spaces between said regions. The system comprises a broadband illuminator (8) for generating incident radiation, a spectrophotometer arrangement (30) for detecting a spectral response of the structure to the incident radiation, and an optical arrangement (2) for directing the incident light to the structure and collecting the response of the structure, said optical arrangement (2) comprising a numerical aperture (32) selectively limiting the range of at least one of light incidence or collecting angles in direction substantially perpendicular to longitudinal axes of said elongated regions of the pattern.
(FR)ipcnvention a trait à un procédé et à un système de mesure optique dans une structure possédant un motif se présentant sous la forme de zones allongées parallèles, espacées les unes des autres, et possédant des propriétés optiques différentes de celles des espaces situés entre lesdites zones. Le système comprend un dispositif d'illumination large bande (8) destiné à générer un rayonnement incident, un agencement de spectrophotomètre (30) destiné à détecter la réponse spectrale de la structure au rayonnement incident, et un agencement optique (2) destiné à diriger la lumière incidente sur la structure et à recueillir la réponse de la structure, ledit agencement optique (2) comprenant une ouverture numérique (32) limitant de façon sélective l'amplitude d'au moins l'un des angles d'incidence ou de collecte de la lumière, dans une direction sensiblement perpendiculaire aux axes longitudinaux desdites zones allongées du motif.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)