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Pub. No.:    WO/2003/075023    International Application No.:    PCT/JP2002/012663
Publication Date: 12.09.2003 International Filing Date: 03.12.2002
G01R 31/01 (2006.01), G01R 31/28 (2006.01)
Applicants: ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 32-1, Asahicho 1-chome, Nerima-ku, Tokyo 179-0071 (JP) (For All Designated States Except US).
OKUDA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KIYOKAWA, Toshiyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NAKAJIMA, Haruki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OKUDA, Hiroshi; (JP).
KIYOKAWA, Toshiyuki; (JP).
NAKAJIMA, Haruki; (JP)
Agent: MAEDA, Hitoshi; MAEDA & NISHIDE, 2F, Kiriyama Bldg., 1-1, Sarugaku-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 101-0064 (JP)
Priority Data:
PCT/JP02/02141 07.03.2002 JP
Abstract: front page image
(EN)A grasping side contact arm (317) holding an IC to be tested is positioned on the optical axis (OP) of an alignment CCD camera (326) of an alignment apparatus (320). The IC to be tested is inserted into a first opening (321a) formed in alignment movable portion (321) and an abutment member (317d) of the grasping side contact arm (317) is brought into abutment with the alignment movable portion (321). The camera (326) picks up image of the IC to be tested and performs image processing so as to calculate an alignment amount for correcting the position of the IC to be tested. Lock and free means (318) provided in a first contact arm (315a1) is put into a non-restriction state and according to the alignment amount, a movable drive apparatus (322) is driven. The grasping side contact arm (317) in abutment with the alignment movable portion (321) is moved with respect to a fundament side contact arm (316). Thus, the position of the IC to be tested is aligned.
(FR)La présente invention a trait à un appareil comportant un bras de contact latéral de préhension (317) portant un circuit intégré à être soumis à un test positionné sur l'axe optique (OP) d'une caméra CCD d'alignement (326) d'un appareil d'alignement (320). Le circuit intégré sous test est introduit dans une première ouverture (312a) formée dans la portion mobile d'alignement (321) et un organe de butée (317d) du bras de contact latéral de préhension (317) est amené en butée avec la portion mobile d'alignement (321). La caméra (326) capte l'image du circuit intégré sous test et effectue un traitement d'image de manière à calculer une quantité d'alignement pour la correction de la position du circuit intégré sous test. Un moyen de verrouillage et de déverrouillage (318) prévu dans un premier bras de contact (315a1) est disposé dans un état de non restriction et selon la quantité d'alignement, un appareil d'entraînement mobile (322) est entraîné. Le bras de contact latéral de préhension (321) en butée avec la portion mobile d'alignement (321) est déplacée par rapport à un bras de contact latéral principal (316). Ainsi on obtient une position alignée du circuit intégré sous test.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)