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1. (WO2003073493) PROBE AREA SETTING METHOD AND PROBE DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/073493    International Application No.:    PCT/JP2003/001707
Publication Date: 04.09.2003 International Filing Date: 18.02.2003
IPC:
G01R 1/067 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (For All Designated States Except US).
MIURA, Youzou [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OZAWA, Tomokazu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MIURA, Youzou; (JP).
OZAWA, Tomokazu; (JP)
Agent: SUZUYE, Takehiko; c/o SUZUYE & SUZUYE, 7-2, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0013 (JP)
Priority Data:
2002/50565 26.02.2002 JP
Title (EN) PROBE AREA SETTING METHOD AND PROBE DEVICE
(FR) PROCEDE DE REGLAGE D'UNE ZONE SONDE ET DISPOSITIF SONDE
Abstract: front page image
(EN)When wafers have indeterminate forms or defective forms, it is difficult for an operator to specify an edge chip address on design and set a probe area. There is provided a probe area setting method using a main chuck (18) movable in X and Y directions. A wafer (W) is placed on the main chuck (18) and the wafer (W) is moved in the X and Y directions via the main chuck (18) so that all the edge chips of the wafer (W) are searched by an upper camera (21A) so as to set a probe area. Here, after an edge chip where search is to be started is selected, the chip search direction is switched to the X direction or the Y direction, so that edge chips are successively searched in the go-around direction of the wafer.
(FR)Lorsque des plaquettes ont des formes indéterminées ou des formes défectueuses, il est difficile pour un opérateur de spécifier une adresse de puce de bord à la conception et de régler une zone sonde. On dispose d'un procédé de réglage d'une zone sonde à l'aide d'un plateau de serrage principal (18) mobile dans les directions X et Y. On place sur le plateau de serrage principal (18) une plaquette (W) qui est déplacée dans les directions X et Y par le plateau de serrage principal (18) de telle manière que les puces de bord de la plaquette (W) soient recherchées par une caméra supérieure (21A) pour régler une zone sonde. Une fois sélectionnée une puce de bord à partir de laquelle on commence la recherche, la direction de recherche de puce est commutée vers la direction X ou la direction Y de telle manière que les puces de bord soient successivement recherchées dans le sens périphérique de la plaquette.
Designated States: KR, US.
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)