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1. (WO2003073042) NANOSCALE VIBROMETRIC MEASUREMENT APPARATUS AND METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/073042    International Application No.:    PCT/US2003/001221
Publication Date: 04.09.2003 International Filing Date: 13.01.2003
Chapter 2 Demand Filed:    13.01.2003    
IPC:
G01H 9/00 (2006.01)
Applicants: THE GOVERNMENT OF THE UNITED STATES OF AMERICA as represented by THE SECRETARY OF THE NAVY [US/US]; Naval Research Laboratory, 4555 Overlook Avenue, S.W., Code 1008.2, Washington, DC 20375 (US)
Inventors: HOUSTON, Brian, H.; (US).
PHOTIADIS, Douglas, M.; (US).
VIGNOLA, Joseph, F.; (US)
Agent: KARASEK, John, J.; Associate Counsel (Patents), Naval Research Laboratory, 4555 Overlook Avenue, SW, Washington, DC 20375-5325 (US)
Priority Data:
10/083,522 27.02.2002 US
Title (EN) NANOSCALE VIBROMETRIC MEASUREMENT APPARATUS AND METHOD
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE MESURE DE VIBROMETRIE A L'ECHELLE NANOMETRIQUE
Abstract: front page image
(EN)An apparatus (10) for measuring the amount of motion of the surface of a microscopic object includes a light source (12), an optical fiber (14) with an aperture (23) for transmitting the light, and a collection objective (30). The collection objective is positioned to receive both the direct component of the fiber light output and the Doppler-shifted reflected light of the fiber light output from the surface of the object. The direct and the Doppler-shifted components interfere in the collection objective. The photo-receiver (32) receives the signal, converts it to an electrical signal, and a signal processor (35) processes the signal and outputs the amount of motion of the object's surface. A tip altitude control system is also provided to position the output end of the fiber with respect to the sample surface. In addition to measuring surface motion and detecting small mass changes on an object's surface, the invention may be used to measure high frequency surface phonons.
(FR)L'invention concerne un appareil (10) permettant de mesurer une quantité de déplacement de la surface d'un objet microscopique, comprenant une source lumineuse (12), une fibre optique (14) comportant une ouverture (23) pour transmettre la lumière, et un objectif de réception (30). L'objectif de réception est positionné pour recevoir à la fois la composante directe de la sortie lumineuse de la fibre et la lumière réfléchie ayant subi un décalage Doppler de la sortie lumineuse de la fibre à partir de la surface de l'objet. La composante directe et la composante en décalage Doppler interfèrent dans l'objectif de réception. Le photorécepteur (32) reçoit le signal, le convertit en un signal électrique, et un processeur de signal (35) traite le signal et envoie la quantité de déplacement dans la surface de l'objet. Un système de commande d'altitude de pointe est également décrit pour positionner l'extrémité de la sortie de la fibre par rapport à la surface échantillon. En plus de mesurer le déplacement de surface et de détecter de petits changements de poids sur la surface d'un objet, l'invention peut être utilisée pour mesurer des phonons de surface de haute fréquence.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)