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1. (WO2003062505) ANODIZATION DEVICE AND ANODIZATION METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/062505    International Application No.:    PCT/JP2003/000458
Publication Date: 31.07.2003 International Filing Date: 21.01.2003
IPC:
C25D 11/02 (2006.01), C25D 11/32 (2006.01), C25D 17/00 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (For All Designated States Except US).
YAGI, Yasushi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
AOKI, Kazutsugu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
USHIJIMA, Mitsuru [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YAGI, Yasushi; (JP).
AOKI, Kazutsugu; (JP).
USHIJIMA, Mitsuru; (JP)
Agent: SUYAMA, Saichi; Kanda Higashiyama Bldg., 1, Kandata-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 101-0046 (JP)
Priority Data:
2002-12212 21.01.2002 JP
Title (EN) ANODIZATION DEVICE AND ANODIZATION METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE D'ANODISATION
Abstract: front page image
(EN)An anodization device and an anodization method for electrochemically processing a substrate to be processed by using it as the anode and irradiating it with light, enabling the processing of a large-sized substrate to be processed with a smaller-sized constituent element. The electrical contact by with the substrate is effected by a plurality of contact members or by moving a contact member while changing the position. The substrate is so fabricated that the conductive layers of the portions to be processed of the substrate are connected to the respective contact portions of the contact members. The combination of this substrate and the contact members is used to energize only a part of the contact members by means of a switch. Alternatively, the contact members are energized to a part of the conductive layers of the substrate by the movement of the contact members. Thus, the current required for the anodization can be the one required for only a part of the portions to be processed.
(FR)L'invention concerne un dispositif et un procédé d'anodisation pour traiter électrochimiquement un substrat. Pour ce faire, le substrat est utilisé comme anode et est irradié à l'aide de lumière, ce qui permet de traiter un substrat de grande taille au moyen d'un élément constitutif de taille inférieure. Le contact électrique avec le substrat est produit au moyen d'une pluralité d'éléments de contact ou par déplacement d'un élément de contact avec changement de position. Le substrat est fabriqué de sorte que les couches conductrices des parties du substrat devant être traitées sont connectées aux parties de contact respectives des éléments de contact. L'utilisation combinée du substrat et des éléments de contact permet de faire passer le courant seulement dans une partie des éléments de contact, à l'aide d'un interrupteur. Dans une autre forme de réalisation, les éléments de contact sont traversés par le courant jusqu'à une partie des couches conductrices du substrat, grâce au déplacement des éléments de contact. De cette manière, le courant requis pour l'anodisation équivaut au courant requis pour une fraction seulement des parties à traiter.
Designated States: CN, KR, US.
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)