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1. (WO2003061905) PROCESS CONTROL IN ELECTRO-CHEMICAL MECHANICAL POLISHING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2003/061905    International Application No.:    PCT/US2003/001760
Publication Date: 31.07.2003 International Filing Date: 21.01.2003
Chapter 2 Demand Filed:    19.08.2003    
IPC:
B23H 5/08 (2006.01), B24B 37/013 (2012.01), B24B 49/04 (2006.01), B24B 49/10 (2006.01), C25F 7/00 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01), H01L 21/3063 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventors: DUBOUST, Alain; (US).
WANG, Yan; (US).
NEO, Siew; (US).
CHEN, Liang-Yuh; (US).
MANENS, Antoine, P.; (US)
Agent: PATTERSON, B., Todd; Moser, Patterson & Sheridan, L.L.P., 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500, Houston, TX 77056 (US)
Priority Data:
10/056,316 22.01.2002 US
Title (EN) PROCESS CONTROL IN ELECTRO-CHEMICAL MECHANICAL POLISHING
(FR) COMMANDE DU PROCESSUS DE POLISSAGE ELECTRO-CHIMIQUE MECANIQUE
Abstract: front page image
(EN)Systems and methods for detecting the endpoint of a polishing step. In general, an electropolishing system is provided with a power supply configured to deliver a current through an electrolytic solution. Signal characteristics of the signal provided by the power supply are monitored to determine a polishing endpoint. Illustratively, the monitored signal characteristics include current and voltage. In another embodiment, current is related to material removed. Current is then monitored over time to determine total material removed.
(FR)L'invention concerne des systèmes et des procédés de détection du point d'arrêt d'une étape de polissage. En général, un système d'électropolissage comprend une alimentation électrique configurée de façon à libérer du courant à travers une solution électrolytique. Les caractéristiques du signal envoyé par l'alimentation électrique sont contrôlées afin de déterminer point d'arrêt de polissage. A mode d'exemple, les caractéristiques du signal commandé comprennent le courant et la tension. Dans un autre mode de réalisation, le courant est lié à la matière retirée. Le courant est alors commandé au fil du temps afin de déterminer la quantité totale de matière retirée.
Designated States: CN, JP, KR, SG.
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)